申请/专利权人：宁波福至新材料有限公司

申请日：2022-04-12

公开（公告）日：2024-03-15

公开（公告）号：CN114774920B

主分类号：C23F1/08

分类号：C23F1/08;C23F1/16

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.03.15#授权;2022.08.09#实质审查的生效;2022.07.22#公开

摘要：本发明涉及一种确保蚀刻速度的加工工艺，包括蚀刻底座、蚀刻槽和电控箱，所述的蚀刻底座上安装有蚀刻槽，所述的蚀刻槽上方设置有滑动轨道，滑动轨道上安装有移动机械手，移动机械手下端安装有夹持平台，所述的蚀刻槽的槽体左侧安装有感应支架，感应支架内竖直安装有上下滑动的波美比重计，所述的波美比重计上套接有与感应支架相对滑动的套管支架，所述的蚀刻槽下部设置有第一储液箱和第二储液箱，第一储液箱和第二储液箱均上竖直安装有微泵支架。本发明具有提高生产效率、节约劳动力成本、全自动生产确保工人与蚀刻池胜利，保护工人身体健康等特点。

主权项：1.一种确保蚀刻速度的加工工艺，其特征在于：包括用于该工艺的全自动蚀刻装置，全自动蚀刻装置包括蚀刻底座4、蚀刻槽6和电控箱5，所述的蚀刻底座4上安装有蚀刻槽6，所述的蚀刻槽6上方设置有滑动轨道1，滑动轨道1上安装有移动机械手2，移动机械手2下端安装有夹持平台3，所述的蚀刻槽6的槽体左侧安装有感应支架18，感应支架18内竖直安装有上下滑动的波美比重计19，所述的波美比重计19上套接有与感应支架18相对滑动的套管支架20，所述的蚀刻槽6下部设置有第一储液箱7和第二储液箱8，第一储液箱7和第二储液箱8均上竖直安装有微泵支架9，所述的微泵支架9上安装有微泵12，所述的微泵12的进口管道与第一储液箱7相连，微泵支架9的出口管道延伸至蚀刻槽6内，蚀刻槽6前侧设置有电控箱5，电控箱5根据波美比重计19检测数据来控制微泵12启动和关闭，所述的蚀刻槽6内安装有PH值检测仪，PH值检测仪与电控箱5相连，其加工工艺的具体步骤如下：a、根据原先工艺中各个参考参数，选择一个最大程度提高蚀刻速度的最优数据，作为理论参数，数据中包含氯化亚铁浓度参数、PH值和温度，将理论参数输入到数据输入面板，并在控制面板内储存；b、将配置好的蚀刻液倒入到蚀刻槽6内，接着通过自动化机械手对产品进行蚀刻操作；c、波美比重计19、温度感应器11和PH值检测仪对蚀刻槽6内的蚀刻液进行实时监测，将测得数据输送到控制面板内，通过控制面板来对测得数据和理论参数进行对比；d、控制面板控制氯化氨输液臂和盐酸输液臂，从而确保氯化亚铁浓度参数、PH值和温度处于恒定状态。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 宁波福至新材料有限公司 一种确保蚀刻速度的加工工艺

免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。

阅读全文 双屏查看 官方信息 专利公告 收藏专利 下载PDF 下载WORD