申请/专利权人：西安晟光硅研半导体科技有限公司

申请日：2024-01-16

公开（公告）日：2024-03-19

公开（公告）号：CN117718616A

主分类号：B23K26/70

分类号：B23K26/70;B23K26/146

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.05#实质审查的生效;2024.03.19#公开

摘要：本发明公开了一种微射流激光加工设备真空吸盘用气液分离系统，涉及激光加工技术领域。该微射流激光加工设备真空吸盘用气液分离系统包括储液箱、抽真空入口管、抽真空出口管和自动排液组件。其中，储液箱上设置有液位监测装置。抽真空入口管连通至储液箱，用于向储液箱内通入含液气体。抽真空出口管连通至储液箱的上端，用于将含液气体中经过气液分离后的气体排出储液箱。自动排液组件连通至储液箱的下端，自动排液组件被配置为根据液位监测装置监测的储液箱的液位自动地将储液箱内的液体排出。本发明提供的微射流激光加工设备真空吸盘用气液分离系统能够对真空吸盘使用的气体进行气液分离，并能将液体自动排出。

主权项：1.一种微射流激光加工设备真空吸盘用气液分离系统，其特征在于，包括：储液箱，所述储液箱上设置有液位监测装置；抽真空入口管，所述抽真空入口管连通至所述储液箱，用于向所述储液箱内通入含液气体；抽真空出口管，所述抽真空出口管连通至所述储液箱的上端，用于将所述含液气体中经过气液分离后的气体排出所述储液箱；自动排液组件，所述自动排液组件连通至所述储液箱的下端，所述自动排液组件被配置为根据所述液位监测装置监测的所述储液箱的液位自动地将所述储液箱内的液体排出。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 西安晟光硅研半导体科技有限公司 一种微射流激光加工设备真空吸盘用气液分离系统

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