申请/专利权人：佳能株式会社

申请日：2023-09-14

公开（公告）日：2024-03-19

公开（公告）号：CN117724299A

主分类号：G03F7/20

分类号：G03F7/20

优先权：["20220916 JP 2022-147948"]

专利状态码：在审-公开

法律状态：2024.03.19#公开

摘要：本发明提供曝光装置、曝光方法以及物品的制造方法。曝光装置具有：快门，其对来自光源的光的遮断与通过进行切换；移动部，其保持基板并使基板移动；以及控制部，其进行控制使得由移动部使基板移动，以在第一曝光期间中使第一区域进行曝光，在第一曝光期间之后的中断期间中在快门使来自光源的光通过的状态下使光源的照度低于第一曝光期间中光源的照度，由此使第一区域的曝光中断，在中断期间之后的第二曝光期间中在快门使来自光源的光通过的状态下使光源的照度高于中断期间中光源的照度，由此使第一区域进行曝光，在第二曝光期间之后的移动期间中在快门将来自光源的光遮断的状态下使在第一区域之后要曝光的第二区域进行曝光。

主权项：1.一种曝光装置，对基板上的多个区域进行曝光，在所述曝光装置中，具有：快门，其对来自光源的光的遮断与通过进行切换；移动部，其保持所述基板并使所述基板移动；以及控制部，其进行控制使得由所述移动部使所述基板移动，以在第一曝光期间中使所述多个区域中包含的第一区域进行曝光，在所述第一曝光期间之后的中断期间中使所述第一区域的曝光中断，在所述中断期间之后的第二曝光期间中使所述第一区域进行曝光，在所述第二曝光期间之后的移动期间中使在所述第一区域之后要曝光的、所述多个区域中包含的第二区域进行曝光，所述控制部对所述光源和所述快门进行控制，使得在所述中断期间中在所述快门使来自所述光源的光通过的状态下所述光源的照度低于所述第一曝光期间中所述光源的照度，所述控制部对所述光源和所述快门进行控制，使得在所述第二曝光期间中在所述快门使来自所述光源的光通过的状态下所述光源的照度高于所述中断期间中的所述光源的照度，所述控制部对所述移动部以及所述快门进行控制，使得在所述移动期间中在所述快门将来自所述光源的光遮断的状态下使所述基板移动。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 佳能株式会社 曝光装置、曝光方法以及物品的制造方法

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