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【发明公布】MEMS微镜结构及其应用_中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所_202311703934.7 

申请/专利权人:中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所

申请日:2023-12-12

公开(公告)日:2024-03-19

公开(公告)号:CN117724238A

主分类号:G02B26/08

分类号:G02B26/08;G01B11/26

优先权:

专利状态码:在审-实质审查的生效

法律状态:2024.04.05#实质审查的生效;2024.03.19#公开

摘要:本发明公开了一种MEMS微镜结构及其应用。监控MEMS微镜运动状态的方法包括:在MEMS微镜上设置光电探测器,所述光电探测器能够与所述MEMS微镜同步运动,其中,所述光电探测器具有纳米光栅结构,所述纳米光栅结构与所述MEMS微镜的镜面位于同一侧;获得所述光电探测器输出的电流值和或电流波形,根据所述电流值和或所述电流波形的两个波形尖峰的时间间隔来判断所述MEMS微镜是否发生偏转和或偏转角度。本发明通过在MEMS微镜的镜面上集成纳米光栅的光电反馈元件,避免了通过外置光电传感器来检测MEMS微镜的运动状态,提高了系统的集成度,降低了系统的复杂性,而且相对于其他的片上集成的压阻传感器或电容传感器,本发明受到的温度等环境因素的影响更小。

主权项:1.一种监控MEMS微镜运动状态的方法,其特征在于,包括:在MEMS微镜上设置光电探测器,所述光电探测器能够与所述MEMS微镜同步运动,其中,所述光电探测器具有纳米光栅结构,所述纳米光栅结构与所述MEMS微镜的镜面位于同一侧;获得所述光电探测器输出的电流值和或电流波形,根据所述电流值和或所述电流波形的两个波形尖峰的时间间隔来判断所述MEMS微镜是否发生偏转和或偏转角度。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 MEMS微镜结构及其应用

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