申请/专利权人：浙江大学;浙江大学绍兴研究院;绍兴市科技创业投资有限公司

申请日：2023-08-25

公开（公告）日：2024-04-16

公开（公告）号：CN220795494U

主分类号：G01V7/00

分类号：G01V7/00;G01V7/02

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.16#授权

摘要：本实用新型公开了一种对称式MEMS重力仪，其中包括中心质量块、外边框、一组正刚度屈曲梁和一组负刚度屈曲梁。屈曲梁一端连接中心质量块，另一端连接外边框，外边框为屈曲梁提供固定支撑，中心质量块受外界加速度作用产生相对于外边框的位移，外边框可限制中心质量块的位移范围。两组屈曲梁采用正负刚度补偿原理，使对称式MEMS重力仪具有准零刚度特性和极低的谐振频率。对称式MEMS重力仪具有体积小，成本低等优势。

主权项：1.一种对称式MEMS重力仪，包括中心质量块、外边框和两组屈曲梁，两组所述屈曲梁分别为一组正刚度屈曲梁和一组负刚度屈曲梁，其特征在于，所述外边框为所述屈曲梁提供固定支撑，所述外边框内侧设有外边框限定空间，所述外边框限定空间用于限制中心质量块的位移范围；所述中心质量块位于外边框的限定空间内，所述中心质量块在外界力的作用下产生相对于外边框的位移；两组所述屈曲梁均为一端连接中心质量块，另一端连接可提供固定支撑的外边框。

全文数据：

权利要求：

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