申请/专利权人：中国电子科技集团公司第十三研究所

申请日：2021-12-06

公开（公告）日：2024-04-16

公开（公告）号：CN114111844B

主分类号：G01C25/00

分类号：G01C25/00

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.16#授权;2022.03.18#实质审查的生效;2022.03.01#公开

摘要：本发明提供一种MEMS惯性器件测试系统，包括：旋转模块、第一采集模块、滑环线、第二采集模块和控制模块；旋转模块包括转轴和环绕转轴设置的2n个测试端口，用于对应测试2n个以内的待测MEMS惯性器件；第一采集模块包括至少一个译码器；第一采集模块包括n路输入端和2n路输出端；2n路输出端用于连接2n个测试端口；滑环线包括n路滑环连接线；n路滑环连接线的一端连接第一采集模块的输入端；第二采集模块设有n路片选信号端；n路片选信号端连接滑环连接线的另一端；本发明能够通过在滑环线两端采用片选信号端和译码器，实现n条滑环线控制2n个待测件，解决了滑环线数量限制批量标定待测件数量的问题，提高了测试效率。

主权项：1.一种MEMS惯性器件测试系统，其特征在于，包括：旋转模块、第一采集模块、滑环线、第二采集模块和控制模块；所述旋转模块包括转轴和环绕转轴设置的2n个测试端口，用于对应设置2n个以内的待测MEMS惯性器件，并对待测MEMS惯性器件进行测量；所述第一采集模块包括至少一个译码器；所述第一采集模块包括n路输入端和2n路输出端；所述2n路输出端用于连接2n个测试端口；所述滑环线包括n路滑环连接线；所述n路滑环连接线的一端连接所述第一采集模块的n路输入端；所述第二采集模块设有n路片选信号端；所述n路片选信号端连接所述n路滑环连接线的另一端；所述控制模块与所述旋转模块连接，用于发送测试指令控制所述转轴旋转；所述第二采集模块包括m个第一片选信号端和n个第二片选信号端，m大于1，n大于1；所述滑环线包括m路第一滑环连接线和n路第二滑环连接线；所述第一滑环连接线的一端连接所述第二采集模块的第一片选信号端；所述第二滑环连接线的一端连接所述第二采集模块的第二片选信号端；所述第一采集模块包括m个译码器，每个译码器包括一个使能端、n路输入端和2n路输出端；所述第一滑环连接线的另一端连接所述译码器的使能端；所述第二滑环连接线的另一端连接所述译码器的输入端，每个所述译码器的n路输入端共用所述第二滑环连接线的另一端；每个所述译码器的输出端连接2n个所述测试端口；所述控制模块具体用于获取m*2n个所述测试端口经第一采集模块、滑环线和第二采集模块传输来的测量数据，并分析获得MEMS惯性器件测试结果；或者，所述第一采集模块包括至少一个第一译码器和2m个第二译码器；所述第一译码器包括m个输入端和2m个输出端；所述第一译码器的输入端连接所述第一滑环连接线的另一端；每个所述第二译码器包括一个使能端；所述第一译码器的输出端连接各个所述第二译码器的使能端；每个所述第二译码器包括n路输入端和2n路输出端；所述第二译码器的输入端连接所述第二滑环连接线的另一端；每个所述第二译码器的n路输入端共用所述第二滑环连接线的另一端；每个所述第二译码器的输出端连接2n个所述测试端口；所述控制模块具体用于获取2m*2n个所述测试端口经第一采集模块、滑环线和第二采集模块传输来的测量数据，并分析获得MEMS惯性器件测试结果。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 中国电子科技集团公司第十三研究所 一种MEMS惯性器件测试系统

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