申请/专利权人：矽电半导体设备(深圳)股份有限公司

申请日：2023-12-05

公开（公告）日：2024-03-19

公开（公告）号：CN117727648A

主分类号：H01L21/66

分类号：H01L21/66;H01L21/67;G01R31/26

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.05#实质审查的生效;2024.03.19#公开

摘要：本发明公开一种多工位测试打点装置，包括机架、测试打点组件和转动设置于机架的转台，机架的上方设置有测试工位和烘烤工位；且转台间隔设置有第一载片台和第二载片台，第一载片台能在测试工位和烘烤工位之间切换，第二载片台能在测试工位和烘烤工位之间切换；且第一载片台位于测试工位和烘烤工位两者之一时，第二载片台位于测试工位和烘烤工位两者中的另一个；测试打点组件包括测试件和打点件；测试件和打点件均可沿机架的第一方向移动，并可沿机架的第二方向移动。通过使体积较小的测试件和打点件沿第一方向和第二方向移动，进而配合处于测试工位的载片台对工件进行测试和打点，其可以缩小测试打点装置的体积，降低测试打点装置的制造成本。

主权项：1.一种多工位测试打点装置，其特征在于，包括：机架，所述机架的上方设置有测试工位和烘烤工位；转台，转动地设置于所述机架，且所述转台间隔设置有均用于放置工件的第一载片台和第二载片台，所述第一载片台能在所述测试工位和所述烘烤工位之间切换，所述第二载片台能在所述测试工位和所述烘烤工位之间切换；且所述第一载片台位于所述测试工位和所述烘烤工位两者之一时，所述第二载片台位于所述测试工位和所述烘烤工位两者中的另一个；测试打点组件，设置于所述测试工位的一侧，所述测试打点组件包括测试件和打点件；所述测试件和所述打点件均可沿所述机架的第一方向移动，并可沿所述机架的第二方向移动；烘烤组件，设置于所述烘烤工位的上方。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 矽电半导体设备(深圳)股份有限公司 多工位测试打点装置

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