申请/专利权人：北京芯溪半导体科技有限公司

申请日：2023-12-14

公开（公告）日：2024-03-19

公开（公告）号：CN117728785A

主分类号：H03H9/02

分类号：H03H9/02;H03H9/13

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.05#实质审查的生效;2024.03.19#公开

摘要：本发明实施例提供一种谐振器、谐振器的形成方法、滤波器、通信设备及终端，其中，所述谐振器，包括：依次堆叠的第一电极层、压电层和第二电极层，其中，第一电极层、压电层、第二电极层以及谐振器的声学反射镜的投影相互重叠的区域为有效区域；有效区域包括中心区和边缘区，边缘区环绕所述中心区；位于有效区域的边缘区内，第一电极层上的第一框架结构，以使第一电极层的边缘区域厚度大于第一电极层的中心区域厚度，第一框架结构包括弧形结构。本发明实施例所提供的谐振器，由于第一框架结构具有弧形结构，可以提高横波反射至所述谐振器的有效区域内部的反射量，从而可以减少能量的泄露，提升谐振器的品质因数，进而提升谐振器的性能。

主权项：1.一种谐振器，其特征在于，包括：依次堆叠的第一电极层、压电层和第二电极层，其中，所述第一电极层、所述压电层、所述第二电极层以及所述谐振器的声学反射镜的投影相互重叠的区域为所述谐振器的有效区域；所述有效区域包括中心区和边缘区，所述边缘区环绕所述中心区；位于所述第一电极层上的第一框架结构，所述第一框架结构位于所述有效区域的边缘区内，以使所述第一电极层的边缘区域厚度大于所述第一电极层的中心区域厚度，所述第一框架结构包括弧形结构。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 北京芯溪半导体科技有限公司 谐振器、谐振器的形成方法、滤波器、通信设备及终端

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