申请/专利权人：长春长光辰英生物科学仪器有限公司

申请日：2022-05-18

公开（公告）日：2024-03-19

公开（公告）号：CN114838673B

主分类号：G01B11/24

分类号：G01B11/24;G02B21/00

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.03.19#授权;2022.08.19#实质审查的生效;2022.08.02#公开

摘要：本发明用于转盘共聚焦系统的阿基米德条纹转盘及其分区方法，包括：转盘，所述转盘采用熔融石英为基板，所述基板上涂镀有抗反射涂层，通过电子束光刻工艺在所述抗反射涂层上刻制转盘条纹；所述转盘条纹采用阿基米德螺旋线的曲线图案结构，转盘上螺旋线作为通光孔径，其他部分遮挡光线通过，以此达到共焦效果；在达到良好的共聚焦效果同时，实现共聚焦系统的快速、高精度测量，同时避免了条纹状伪影的产生，大大提高了样品测量精度，结构简单，具有较低的成本，适合推广。

主权项：1.一种转盘共聚焦系统的阿基米德条纹转盘的分区方法，其特征在于，包括：转盘，所述转盘采用熔融石英为基板，所述基板上涂镀有抗反射涂层，通过电子束光刻工艺在所述抗反射涂层上刻制转盘条纹；所述转盘条纹采用阿基米德螺旋线的曲线图案结构，转盘上螺旋线作为通光孔径，其他部分遮挡光线通过，以此达到共焦效果；以转盘中心为原点建立极坐标轴，转盘条纹可用公式表达如下：r＝a+bθ公式1其中，a、b均为常数；a为条纹起点与坐标原点的距离；b为每一圈条纹间的距离，即条纹间隔，决定条纹密度；θ为角度；r为条纹某一点到坐标原点的距离；所述转盘插入共聚焦系统中围绕转盘中心点旋转，相机在转盘旋转一周的时间内曝光，转盘条纹图案会投影到样品焦面对样品进行扫描成像；当所述转盘旋转一周时，从原点开始计算的第一圈条纹会对a到a+2πb之间的径向区域执行扫描，即第一圈条纹起点到第二圈条纹起点间的区域；同样，第二圈条纹会对a+2πb到a+4πb之间的径向区域执行扫描，即第二圈条纹起点到第三圈条纹起点间的区域；以此类推，每一圈条纹的扫描区域彼此连接，实现对整个样品平面的扫描；共聚焦显微镜的共焦孔径尺寸需要适应不同规格的显微物镜，点扫描的激光共聚焦显微镜通过调节针孔尺寸实现，而转盘共聚焦由于孔径众多无法统一调节，所以采用圆盘分区的方式实现；分区方法包括：转盘沿径向分区和沿周向分区两种；方法一、转盘沿径向分区，以转盘中心为圆心设置有一块全透光的环形区，用于生成普通的宽场图像，转盘能沿径向进行平移，以使转盘上不同图案区域接入光路；①在不同的分区中，转盘条纹宽度和条纹间隔等比例缩放，即改变条纹密度，按条纹密度进行径向分区；②在不同的分区中，保持条纹密度不变，只改变转盘条纹宽度，即改变条纹宽度和条纹间距的比值，按照条纹宽度进行径向分区；方法二、转盘沿周向分区，以转盘中心为顶点设置有一块全透光的扇形区域，用于生成普通的宽场图像；转盘以固定速度旋转，并连接有转速传感器，以外界触发的方式控制相机的曝光与转盘保持同步，使其在任意分区内进行成像；①在不同的分区中，转盘条纹宽度和条纹间隔等比例缩放，即改变条纹密度，即按条纹密度进行周向分区；②在不同的分区中，保持条纹密度不变，只改变条纹宽度，即改变条纹宽度和条纹间距的比值，即按条纹宽度进行周向分区。

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权利要求：

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