申请/专利权人：无锡嘉森光学科技有限公司

申请日：2024-01-05

公开（公告）日：2024-03-19

公开（公告）号：CN117512533B

主分类号：C23C14/34

分类号：C23C14/34;C23C14/56

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.03.19#授权;2024.02.27#实质审查的生效;2024.02.06#公开

摘要：本发明属于真空镀膜技术领域，旨在提供一种真空镀膜设备，包括架台，架台的顶部自左向右依次固定放置有过渡腔和四个镀膜腔，过渡腔与四个镀膜腔均相连通，过渡腔与最左侧的镀膜腔之间设有插板阀；过渡腔的腔体内设有工件移栽机构，四个镀膜腔的内部上端设有移动小车，每两个相邻的镀膜腔的连接处的下方均设有两个溅射源机构。本发明具有多个溅射源依次对工件进行镀膜、节约时间、方便拿取工件、方便根据工件调节溅射源于工件之间距离的优点。

主权项：1.真空镀膜设备，其特征在于：包括架台（1），所述架台（1）的顶部自左向右依次固定放置有过渡腔（2）和四个镀膜腔（3），所述过渡腔（2）与四个镀膜腔（3）均相连通，所述过渡腔（2）与最左侧的镀膜腔（3）之间设有插板阀（4）；所述过渡腔（2）的腔体内设有工件移栽机构（5），四个所述镀膜腔（3）的内部上端设有移动小车（6），每两个相邻的镀膜腔（3）的连接处的下方均设有两个溅射源机构（7）；每个所述溅射源机构（7）均包括两组交叉导轨（711）、升降机构（712）、靶枪（713）、调节机构（714），每组所述交叉导轨（711）均包括固定轨（715）和滑轨（716），每个所述固定轨（715）均与架台（1）固定连接，每个所述升降机构（712）均包括固定板（717）、两个三轴气缸（718）、两个导向板（719）、密封板（720）、密封胶条（721），所述固定板（717）呈“回”形，所述固定板（717）固定位于其对应的两个滑轨（716）的顶部，两个导向板（719）分别固定位于固定板（717）的顶部前侧与后侧，两个所述三轴气缸（718）分别固定位于两个导向板（719）的底部，所述密封板（720）位于两个导向板（719）的正上方，所述密封板（720）的底部与两个三轴气缸（718）的伸缩杆固定连接，所述密封胶条（721）呈“回”形状，所述密封胶条（721）固定位于密封板（720）的顶部；所述调节机构（714）包括调节板（722）、螺纹杆（723）、两根限位杆（724）、两根滑杆（725）、螺纹座（726）、手轮（727），所述调节板（722）位于密封板（720）的正下方，所述靶枪（713）位于密封板（720）的正上方，所述靶枪（713）的底部固定设有连接板（728），两根所述限位杆（724）固定位于调节板（722）的顶部前侧与后侧，两根限位杆（724）的顶部穿过密封板（720）与连接板（728）的底部固定连接，所述滑杆（725）固定位于密封板（720）的底部，所述滑杆（725）滑移连接穿插于密封板（720）内，所述螺纹座（726）固定位于调节板（722）底部，所述螺纹杆（723）的顶部与密封板（720）底部转动连接，所述螺纹杆（723）与螺纹座（726）螺纹连接，所述手轮（727）固定位于螺纹杆（723）的底部；每个所述镀膜腔（3）的底部均开设有与靶枪（713）相对应的开口，每个所述密封板（720）顶部均与其对应的镀膜腔（3）的底部相抵。

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