申请/专利权人：北京至格科技有限公司

申请日：2023-09-04

公开（公告）日：2024-03-19

公开（公告）号：CN220625190U

主分类号：G01B11/00

分类号：G01B11/00;G01B11/24

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.03.19#授权

摘要：本实用新型提供一种光栅栅线方向定位装置，包括光栅矢量方向定位组件以及光栅栅线方向定位部件。光栅矢量方向定位组件包括载台和第一激光器，光栅栅线方向定位部件采用第二激光器。第一激光器向载台上的待测光栅垂直发射点光源，点光源在待测光栅表面发生衍射而得到沿直线排布的多个衍射点组成的衍射点阵，衍射点阵的直线排布方向即光栅矢量方向，第二激光器向待测光栅垂直发射定位标记，通过旋转第二激光器使得定位标记与衍射点阵的直线排布方向具有对应位置关系，从而对光栅栅线方向进行定位。本实用新型提供的光栅栅线方向定位装置能够实现光栅栅线方向准确以及快速的定位，从而大大提高光栅形貌检测结果的精度。

主权项：1.一种光栅栅线方向定位装置，其特征在于，包括光栅矢量方向定位组件以及光栅栅线方向定位部件；所述光栅矢量方向定位组件包括载台和第一激光器；所述载台用于放置待测光栅；所述第一激光器采用RGB三色激光器，所述第一激光器向所述待测光栅垂直发射点光源，点光源在待测光栅表面发生衍射而得到沿直线排布的多个衍射点组成的衍射点阵；衍射点阵的直线排布方向即光栅矢量方向；所述光栅栅线方向定位部件采用第二激光器；所述第二激光器向所述待测光栅垂直发射定位标记，通过旋转第二激光器使得所述定位标记与所述衍射点阵的直线排布方向具有对应位置关系，从而对光栅栅线方向进行定位。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 北京至格科技有限公司 一种光栅栅线方向定位装置

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