申请/专利权人：深圳市大族半导体装备科技有限公司

申请日：2023-08-10

公开（公告）日：2024-03-19

公开（公告）号：CN220628475U

主分类号：H01S3/067

分类号：H01S3/067;H01S3/08018

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.03.19#授权

摘要：本申请提供了一种基于光谱调制的啁啾脉冲放大装置，包括种子源、展宽组件、光谱调制机构、功率放大模块和脉冲压缩模块；展宽组件设于种子源的出光光路上，展宽组件用于对经过的激光脉冲展宽并输出展宽脉冲；光谱调制机构包括第一增益光纤光路和第二增益光纤光路，展宽组件分束连接第一增益光纤光路和第二增益光纤光路，第一增益光纤光路和第二增益光纤光路耦合连接至功率放大模块，展宽脉冲分束进入第一增益光纤光路和第二增益光纤光路中，经耦合且相位干涉形成调制脉冲并输出至功率放大模块，调制脉冲的光谱呈中间低陷且两侧隆起状。本申请实施例的基于光谱调制的啁啾脉冲放大装置，能够输出高功率窄脉宽飞秒激光，整体结构更加简单、紧凑。

主权项：1.一种基于光谱调制的啁啾脉冲放大装置，其特征在于，包括种子源、展宽组件、光谱调制机构、功率放大模块和脉冲压缩模块；所述种子源用于产生激光脉冲；所述展宽组件设于所述种子源的出光光路上，所述展宽组件用于形成空间光路，对经过的激光脉冲展宽并输出展宽脉冲；所述光谱调制机构包括第一增益光纤光路和第二增益光纤光路，所述展宽组件分束连接所述第一增益光纤光路的输入端和第二增益光纤光路的输入端，所述第一增益光纤光路的输出端和第二增益光纤光路的输出端耦合连接至所述功率放大模块，所述展宽脉冲分束进入所述第一增益光纤光路和所述第二增益光纤光路中，经相位延迟和增益后，被耦合且相位干涉形成调制脉冲并输出至所述功率放大模块，所述调制脉冲的光谱呈中间低陷且两侧隆起状；所述功率放大模块用于将所述调制脉冲进行功率放大和能量提取，并输出高能脉冲；所述脉冲压缩模块与所述功率放大模块连接，所述脉冲压缩模块用于对所述高能脉冲进行压缩并输出。

全文数据：

权利要求：

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