申请/专利权人：苏州矽行半导体技术有限公司

申请日：2023-12-26

公开（公告）日：2024-03-22

公开（公告）号：CN117742083A

主分类号：G03F7/20

分类号：G03F7/20;G03F9/00;G02B27/40;G02B27/62

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.09#实质审查的生效;2024.03.22#公开

摘要：本发明提供了一种多自由度可调的晶圆聚焦系统，属于晶圆检测中的聚焦领域，晶圆聚焦系统包括X粗动模块、Y粗动模块、Stewart平台、Z向粗动模块和镜头；X粗动模块和Y粗动模块用于实现在X向和Y向的移动粗调；Stewart平台用于X向、Y向和Z向的精调；Z向粗动模块非接触的设置在Stewart平台上方，通过Z向粗动模块带动镜头实现Z向的移动粗调。通过本申请，可满足精调和粗调节的需求，时间响应快，结构紧凑，并且采用Stewart的平台，不仅仅满足XYZ方向的调节，同时对于chuck的姿态也有3个方向的调节自由度，通过单一部件的完成多个功能设计，便于在晶圆检测等高精驱控或聚焦领域推广应用。

主权项：1.一种多自由度可调的晶圆聚焦系统，其特征在于：晶圆聚焦系统包括X粗动模块1、Y粗动模块2、Stewart平台3、Z向粗动模块和镜头8；其中，所述X粗动模块1和Y粗动模块2上下相叠的设置，用于实现在X向和Y向的移动粗调；所述Stewart平台3设置在Y粗动模块2的上表面，用于X向、Y向和Z向的精调；所述Z向粗动模块非接触的设置在Stewart平台3上方，所述镜头8安装在Z向粗动模块上并朝向Stewart平台3布置，以此通过Z向粗动模块带动镜头8实现Z向的移动粗调。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 苏州矽行半导体技术有限公司 一种多自由度可调的晶圆聚焦系统

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