申请/专利权人：安徽光智科技有限公司

申请日：2023-12-12

公开（公告）日：2024-03-22

公开（公告）号：CN117737863A

主分类号：C30B33/02

分类号：C30B33/02;C30B29/46

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.09#实质审查的生效;2024.03.22#公开

摘要：一种碲掺杂锑化铟圆片的退火方法包括步骤：S1，将碲掺杂锑化铟圆片定位在退火炉内，正反表面处于第一方向，法线处于第二方向，第一方向和第二方向垂直，碲掺杂锑化铟圆片的高载流子浓度区域和低载流子浓度区域在第一方向上分别分布在碲掺杂锑化铟圆片的第一方向的两侧；S2，设定退火温度，高载流子浓度区域对应的退火温度低于低载流子区域对应的退火温度，将退火炉的温度在第一方向上的分布以碲掺杂锑化铟圆片的第一方向的直径的两端对应的退火的最高温度和最低温度之间的温度差与直径形成的温度梯度设定；S3，依据设定的温度退火；S4，退火结束后，最低温度维持不变，从最高温度降温至最低温度；S5，降温至最低温度后，整体再降温至室温。

主权项：1.一种碲掺杂锑化铟圆片的退火方法，包括步骤：S1，将碲掺杂锑化铟圆片定位在退火炉内，其中，碲掺杂锑化铟圆片的正反表面处于第一方向，正反表面的法线处于第二方向，第一方向和第二方向垂直，碲掺杂锑化铟圆片的高载流子浓度区域和低载流子浓度区域在第一方向上分别分布在碲掺杂锑化铟圆片的第一方向的两侧；S2，设定退火温度，高载流子浓度区域对应的退火温度低于低载流子区域对应的退火温度，将退火炉的温度在第一方向上的分布以碲掺杂锑化铟圆片的第一方向的直径的两端对应的退火的最高温度和最低温度之间的温度差与直径形成的温度梯度设定；S3，依据步骤S2设定的温度对碲掺杂锑化铟圆片进行退火；S4，退火结束后，基于步骤S2设定的温度梯度的最高温度与最低温度，最低温度维持不变，使碲掺杂锑化铟圆片从最高温度降温至最低温度；S5，降温至最低温度后，碲掺杂锑化铟圆片整体再降温至室温。

全文数据：

权利要求：

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