申请/专利权人:陕西迪泰克新材料有限公司
申请日:2023-12-06
公开(公告)日:2024-03-22
公开(公告)号:CN117737860A
主分类号:C30B29/48
分类号:C30B29/48;C30B1/02
优先权:
专利状态码:在审-实质审查的生效
法律状态:2024.04.09#实质审查的生效;2024.03.22#公开
摘要:一种合成炉、碲锌镉或碲化镉的制备方法,属于化合物半导体制备领域。合成炉包括炉体以及水平设置于炉体内的炉管。炉管具有相对设置的封闭端和呈楔形的开口端。炉管的内壁设置有氮化硼陶瓷涂层,炉管内设置有具有第一通孔的分隔件,将氮化硼陶瓷涂层的内底壁隔成沿轴向分布的第一壁段和第二壁段,以分隔分别放置于第一壁段和第二壁段处的非气态的物料。加热组件对炉管进行加热,使第一壁段蒸发的物料可以穿过第一通孔进入第二壁段内。密封组件的炉堵设置于开口端的内部,推杆与法兰连接,法兰与炉体连接时,推杆推动炉堵与开口端的内壁契合,以封闭炉管。利用上述合成炉,能够降低炉管的爆管几率,提高碲化镉或碲锌镉的合成质量。
主权项:1.一种合成炉,其特征在于,包括:炉体,以及水平设置于所述炉体内的炉管;所述炉管具有相对设置的封闭端和开口端,所述开口端呈楔形;所述炉管的内壁设置有氮化硼陶瓷涂层,所述炉管内设置有具有第一通孔的分隔件,所述分隔件与所述氮化硼陶瓷涂层的内底壁抵接并凸出所述内底壁,将所述内底壁隔成沿轴向分布的第一壁段和第二壁段,以分隔放置于所述第一壁段的固体物料和放置于所述第二壁段的固体物料,且所述第一壁段蒸发的物料可以穿过所述第一通孔进入所述第二壁段内;密封组件,包括炉堵、推杆和法兰;所述炉堵设置于所述开口端的内部,所述推杆与所述法兰连接,所述法兰与所述炉体可拆卸连接;所述法兰与所述炉体连接时,所述推杆推动所述炉堵与所述开口端的内壁契合,以封闭所述炉管;加热组件,所述加热组件设置于所述炉体,对所述炉管进行加热。
全文数据:
权利要求:
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