申请/专利权人:江苏微导纳米科技股份有限公司
申请日:2022-03-29
公开(公告)日:2024-03-22
公开(公告)号:CN117737703A
主分类号:C23C16/50
分类号:C23C16/50;C23C16/455
优先权:
专利状态码:在审-实质审查的生效
法律状态:2024.04.09#实质审查的生效;2024.03.22#公开
摘要:本申请公开了一种薄膜沉积装置,包括:沿第一方向依次设置的喷淋背板和喷淋板,喷淋背板设有第七通孔;腔盖;第三连接组件,包括:第三紧固件,穿设于第七通孔,用于将喷淋背板安装紧固于腔盖;绝缘套筒,设于第七通孔内,用于将第三紧固件与喷淋背板绝缘。本申请薄膜沉积装置绝缘性能良好。
主权项:1.一种薄膜沉积装置,其特征在于,包括:沿第一方向依次设置的喷淋背板和喷淋板,所述喷淋背板设有第七通孔;腔盖;第三连接组件,包括:第三紧固件,穿设于所述第七通孔,用于将所述喷淋背板安装紧固于所述腔盖;绝缘套筒,设于所述第七通孔内,用于将所述第三紧固件与所述喷淋背板绝缘。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 江苏微导纳米科技股份有限公司 薄膜沉积装置
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