申请/专利权人：江苏微导纳米科技股份有限公司

申请日：2022-03-29

公开（公告）日：2024-03-22

公开（公告）号：CN117737704A

主分类号：C23C16/50

分类号：C23C16/50;C23C16/455;C23C16/44

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.09#实质审查的生效;2024.03.22#公开

摘要：本申请公开了一种薄膜沉积装置，包括：喷淋背板；腔盖，腔盖和喷淋背板固定相连；第二进气管，用于输送惰性气体；第二盖板，盖设于腔盖朝向喷淋背板的一面，第二盖板与腔盖形成吹扫腔，第二进气管的出口与吹扫腔相连。本申请薄膜沉积装置不易在部件表面沉积形成粉尘颗粒污染。

主权项：1.一种薄膜沉积装置，其特征在于，包括：喷淋背板；腔盖，所述腔盖和所述喷淋背板固定相连；第二进气管，用于输送惰性气体；第二盖板，盖设于所述腔盖朝向所述喷淋背板的一面，所述第二盖板与所述腔盖形成吹扫腔，所述第二进气管的出口与所述吹扫腔相连。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 江苏微导纳米科技股份有限公司 薄膜沉积装置

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