申请/专利权人：中国科学技术大学

申请日：2023-12-15

公开（公告）日：2024-03-22

公开（公告）号：CN117740850A

主分类号：G01N23/2209

分类号：G01N23/2209

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.09#实质审查的生效;2024.03.22#公开

摘要：本申请实施例公开一种用于实现单维度全场空间分辨的光谱仪，该光谱仪中的第一空间聚焦镜、第二空间聚焦镜、单色器镜组和X射线探测器沿着样品点的出射光的光路方向依次设置，出射光包括：入射光激发样品时使样品进行二次发光产生的X射线；第一空间聚焦镜和第二空间聚焦镜为面型不同的空间聚焦镜，第一空间聚焦镜和第二空间聚焦镜用于分别对样品点的出射光进行聚焦；单色器镜组，用于对样品点的出射光进行色散，以产生色散后的X射线，其中，第一空间聚焦镜和第二空间聚焦镜的聚焦方向与单色器镜组的色散方向不相同；X射线探测器，用于对色散后的X射线进行探测，以得到X射线强度分布信息，X射线强度分布信息用于对样品的单纬度全场空间分辨和能量分辨。

主权项：1.一种用于实现单维度全场空间分辨的光谱仪，其特征在于，所述光谱仪包括：第一空间聚焦镜、第二空间聚焦镜、单色器镜组和X射线探测器；其中，所述第一空间聚焦镜、所述第二空间聚焦镜、所述单色器镜组和所述X射线探测器沿着样品点的出射光的光路方向依次设置，所述出射光包括：入射光激发样品时使所述样品进行二次发光产生的X射线；所述第一空间聚焦镜和所述第二空间聚焦镜为面型不同的空间聚焦镜，所述第一空间聚焦镜和所述第二空间聚焦镜用于分别对所述样品点的出射光进行聚焦；所述单色器镜组，用于对所述样品点的出射光进行色散，以产生色散后的X射线，其中，所述第一空间聚焦镜和所述第二空间聚焦镜的聚焦方向与所述单色器镜组的色散方向不相同；所述X射线探测器，用于对所述色散后的X射线进行探测，以得到X射线强度分布信息，所述X射线强度分布信息用于对所述样品的单纬度全场空间分辨和能量分辨。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 中国科学技术大学 一种用于实现单维度全场空间分辨的光谱仪

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