申请/专利权人：中电科蓝天科技股份有限公司;天津恒电空间电源有限公司

申请日：2023-12-30

公开（公告）日：2024-03-22

公开（公告）号：CN117747713A

主分类号：H01L31/18

分类号：H01L31/18;H01L31/0224;H01L21/3205;H01L21/3213

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.09#实质审查的生效;2024.03.22#公开

摘要：本发明提供一种砷化镓太阳电池栅线制备方法，包括以下步骤：在太阳电池基体上真空蒸镀粘附层，在所述粘附层上真空蒸镀导电层，在所述导电层的电池区域印刷栅线阻挡层，腐蚀所述导电层，腐蚀所述粘附层，去除所述栅线阻挡层。本发明的有益效果是保证了砷化镓太阳电池栅线的牢固度，方便了阻挡胶的去除，可与自动流水线兼容作业，有效的降低了成本，通过对侧蚀程度的控制，保证了砷化镓太阳电池栅线的质量。

主权项：1.一种砷化镓太阳电池栅线制备方法，其特征在于，包括以下步骤：在太阳电池基体上真空蒸镀粘附层；在所述粘附层上真空蒸镀导电层；在所述导电层的电池区域印刷栅线阻挡层；腐蚀所述导电层；腐蚀所述粘附层；去除所述栅线阻挡层。

全文数据：

权利要求：

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