申请/专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所

申请日：2024-02-19

公开（公告）日：2024-03-22

公开（公告）号：CN117747517A

主分类号：H01L21/677

分类号：H01L21/677;H01L21/67;H01L21/68

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.09#实质审查的生效;2024.03.22#公开

摘要：本发明涉及半导体生产领域，公开了一种具有上料功能的半导体机台，包括机台主体，所述机台主体的一端安装有上料组件，所述机台主体外侧设置有监控机构，所述机台主体的内部一侧设置有定位组件，所述机台主体的一侧开设有通槽。本发明通过通槽开设于机台主体的一侧可以为上料装置提供上料的空间，随后将上料装置安装于该位置，并且将上料装置的一端延伸入其内侧，通过上料架对上料的装置提供架设支撑，上料输送辊传动带动输送带运行实现输送，从而可以将需要加工的半导体材料放置于输送带上，从而可以将半导体材料经过输送输入机台主体的内部进行雕刻加工处理工作，通过此上料方式有利于提高了上料的效率，进而提升了半导体生产制造的进度。

主权项：1.一种具有上料功能的半导体机台，包括机台主体（1），其特征在于：所述机台主体（1）的一端安装有上料组件（2），所述机台主体（1）外侧设置有监控机构（3），所述机台主体（1）的内部一侧设置有定位组件（4），所述上料组件（2）的一侧安装有分料组件（5），所述机台主体（1）的一侧开设有通槽（113），所述上料组件（2）的两侧安装有上料架（201），所述上料架（201）的两端设置有上料输送辊（202），所述上料输送辊（202）的外壁缠绕有输送带（203），所述上料架（201）的一端贯穿于通槽（113）的内侧，所述上料组件（2）的外侧均匀分布有多个限位条（204），所述上料架（201）的一侧安装有上料电机（205），所述上料架（201）的一端安装有送料板（208）；所述机台主体（1）的内部安装有两个监控摄像头（301），所述机台主体（1）的顶部安装有警报灯（305），所述机台主体（1）的顶部安装有监控显示器（307），所述监控显示器（307）安装在警报灯（305）的侧方，所述定位组件（4）的底部安装有定位台（401），所述定位台（401）的顶部两侧安装有长推杆（402），所述长推杆（402）的侧面连接有气动推杆（408），所述定位台（401）的顶部两端安装有伸缩座（406），所述伸缩座（406）的侧面连接有电动伸缩杆（407）。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 一种具有上料功能的半导体机台

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