申请/专利权人：深圳市恒运昌真空技术有限公司

申请日：2023-08-16

公开（公告）日：2024-03-22

公开（公告）号：CN117742129A

主分类号：G05B11/42

分类号：G05B11/42;H01J37/32;H01J37/248

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.09#实质审查的生效;2024.03.22#公开

摘要：本发明公开了一种射频电源的叠层控制方法，属于射频电源控制技术领域，解决了现有射频等离子体电源系统的功率控制具有较长的延滞性的问题。该射频电源的叠层控制方法，包括：射频电源根据接收到的自身实时回传的功率输出端的第一电信号、匹配器的功率输出端的第二电信号以及腔室负载的电信号参考值，调整射频电源的输出功率；射频电源将调整后的射频电源的输出功率发送至所述匹配器的功率输入端；匹配器接收到所述调整后的射频电源后，基于所述调整后的射频电源的输出功率进行阻抗匹配，调整匹配器的输出功率；并将调整后的匹配器的输出功率发送至腔室负载的功率输入端。

主权项：1.一种射频电源的叠层控制方法，其特征在于，包括：射频电源根据接收到的自身实时回传的功率输出端的第一电信号、匹配器的功率输出端的第二电信号以及腔室负载的电信号参考值，调整射频电源的输出功率；射频电源将调整后的射频电源的输出功率发送至所述匹配器的功率输入端；匹配器接收到所述调整后的射频电源后，基于所述调整后的射频电源的输出功率进行阻抗匹配，调整匹配器的输出功率；并将调整后的匹配器的输出功率发送至腔室负载的功率输入端。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 深圳市恒运昌真空技术有限公司 一种射频电源的叠层控制方法

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