申请/专利权人：伯恩半导体(河南)有限公司

申请日：2023-12-22

公开（公告）日：2024-03-22

公开（公告）号：CN117747507A

主分类号：H01L21/67

分类号：H01L21/67;H01L21/677

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.09#实质审查的生效;2024.03.22#公开

摘要：本发明公开了一种固晶机，包括机架，安装于机架上的支架上下组件、晶环旋转组件、顶晶组件、固晶摆臂组件、晶环供料组件、晶环上下料组件；支架上下组件中第一移栽平台能够带动整体支架上下组件在水平面上进行横向以及纵向调节，使得固晶位处的支架能够配合固晶摆臂组件进行固晶作业；而固晶作业时，支撑座、第一输送带结构、第二输送带结构、上料盒以及下料盒均与固晶位保持同步运动，第一输送带结构和第二输送带结构能够在固晶位处的支架使用后，同步的将上料盒中的支架输送到固晶位、使用后的支架输送到下料盒处，减少固晶位固晶作业停止的时间，大大提交固晶作业效率，提高固晶机的生产力。

主权项：1.一种固晶机，包括机架1、支架上下组件2、晶环旋转组件3、顶晶组件和固晶摆臂组件4，支架上下组件2安装于所述机架1上，用于将支架移送至固晶位后再能够将支架移出固晶位；晶环旋转组件3安装于所述机架1上，用于支撑并驱动所述晶环转动；顶晶组件安装于所述机架1上并位于所述晶环旋转组件3的下方，用于将所述晶环上的晶片顶出至供晶位；固晶摆臂组件4安装于所述机架1上，用于将所述供晶位处的晶片运送至固晶位；其特征在于，还包括；晶环供料组件5，设置于所述晶环旋转组件3的下方并安装于机架1上；晶环上下料组件6，其包括对称设置于所述晶环供料组件5两侧并安装于机架1上的上料组件61和下料组件62，所述上料组件61和下料组件62结构相同，所述下料组件62将所述晶环旋转组件3上使用后的晶环移出的同时所述上料组件61将所述晶环供料组件5上未使用的晶环夹取；而所述上料组件61将未使用的晶环夹取到晶环旋转组件3上的同时下料组件62能够将使用后的晶环放置于晶环供料组件5上；所述支架上下组件2包括安装于所述机架1上的第一移栽平台21、安装于所述第一移栽平台21上的支撑座22、设置于所述支撑座22上的第一输送带结构23和第二输送带结构24、设置于支撑座22两侧的上料盒25和下料盒26，所述上料盒25、下料盒26分别用于储存未使用、使用后的支架，所述第一输送带结构23、第二输送带结构24同时动作从上料盒25处抬取未使用的支架，并将未使用的支架输送到固晶位，在支架使用后，第一输送带结构23和第二输送带结构24再同时动作将使用后的支架输送至下料盒26处；所述第一输送带结构23和第二输送带结构24同时持续运转可将上料盒25中的支架不断地输送至固晶位。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 伯恩半导体(河南)有限公司 一种固晶机

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