申请/专利权人：佳能株式会社

申请日：2019-10-11

公开（公告）日：2024-03-22

公开（公告）号：CN111048440B

主分类号：H01L21/67

分类号：H01L21/67;G03F7/00;G03F7/09;G03F7/095

优先权：["20181011 JP 2018-192812"]

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.03.22#授权;2020.10.30#实质审查的生效;2020.04.21#公开

摘要：本发明涉及膜形成装置、膜形成方法以及物品的制造方法。一种用于在基板上形成膜的膜形成装置包括：驱动器，被配置为使布置在基板上的可固化组合物与平坦表面相互接触；加热器，被配置为通过电磁波加热可固化组合物以降低可固化组合物的粘度并使可固化组合物贴合平坦表面；以及固化设备，被配置为通过在可固化组合物贴合平坦表面的状态下使可固化组合物固化来形成由可固化组合物的固化产物制成的膜。

主权项：1.一种在基板上形成膜的膜形成装置，其特征在于，包括：基板保持器，被配置为保持基板；驱动器，被配置为使布置在基板上的可固化组合物与平坦表面相互接触；加热器，被设置到基板保持器，且被配置为经由基板加热可固化组合物以降低可固化组合物的粘度并使可固化组合物贴合所述平坦表面；固化设备，被配置为通过在可固化组合物贴合所述平坦表面的状态下使可固化组合物固化来形成由可固化组合物的固化产物制成的膜；以及移动机构，被配置为将基板保持器布置在第一位置和第二位置，其中，第一位置是基板保持器接收基板的位置，并且第二位置是固化设备使可固化组合物固化的位置，并且加热器被控制为使得在基板保持器布置在第一位置的状态下基板保持器的基板保持表面保持在目标温度。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 佳能株式会社 膜形成装置、膜形成方法以及物品的制造方法

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