申请/专利权人：中国科学院上海技术物理研究所

申请日：2020-11-11

公开（公告）日：2024-03-22

公开（公告）号：CN112305752B

主分类号：G02B26/08

分类号：G02B26/08;G02B17/00;G02B17/06

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.03.22#授权;2021.02.23#实质审查的生效;2021.02.02#公开

摘要：本发明公开了一种微镜结构，包括：光反射膜，悬设于衬底上；多段形变梁，首尾依次相邻或相接地围绕在光反射膜的外侧以外或下方位置，每段形变梁分别通过一个支点结构绝缘地连接至光反射膜的外侧上；多个支撑柱，分别支撑于每两段形变梁的相邻或相接端点位置的下方；通过向至少一段形变梁中通电，使形变梁因通电发热而产生相对于其长度方向的向上或向下方向的弯曲变形，带动与之连接的光反射膜的对应侧向上或向下位移，并通过对各段形变梁执行分别控制所形成的变形大小不同组合，实现使光反射膜朝向任意预定方向的偏转或和上下浮动。本发明还公开了一种微镜结构制作方法、微镜阵列和探测器。

主权项：1.一种微镜结构，其特征在于，包括：光反射膜，其被配置为悬设于一衬底之上；多段形变梁，其被配置为首尾依次相邻或相接地围绕在所述光反射膜的外侧以外位置或围绕位于所述光反射膜的下方位置，每段所述形变梁分别通过一个支点结构绝缘地连接至所述光反射膜的外侧上；多个支撑柱，其被配置为分置且支撑于每两段所述形变梁的相邻或相接端点位置的下方与所述衬底的表面之间，并形成各段所述形变梁与所述衬底之间的电连接；其中，通过向至少一段所述形变梁中通电，使所述形变梁因通电发热而产生相对于其长度方向的向上或向下方向的弯曲变形，带动与之连接的所述光反射膜的对应侧向上或向下位移，并通过对各段所述形变梁执行分别控制所形成的变形大小不同组合，实现使所述光反射膜朝向任意预定方向的偏转或和上下浮动；所述形变梁为上下叠设的多层叠层结构，其中，所述形变梁包括发热电阻层、第一形变层和第二形变层，所述发热电阻层与所述支撑柱连接，实现通过所述衬底中设置的CMOS电路对任意一段所述形变梁进行单独的通电及控制，当由一段所述形变梁中的所述发热电阻层的两端通入电流时，所述发热电阻层将产生发热升温现象，并将其热能传导至所述第一形变层和所述第二形变层中，此时，所述第二形变层材料将产生相对于所述第一形变层材料的较大的体积膨胀，或所述第一形变层材料将产生相对于所述第二形变层材料的较大的体积膨胀，因而在所述形变梁的两端被拘束的状态下，使所述形变梁发生相对于其长度方向的向上或向下方向的弯曲变形；所述第一形变层材料具有第一热膨胀系数，所述第二形变层材料具有第二热膨胀系数，所述第一热膨胀系数与所述第二热膨胀系数之间的相对大小不同。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 中国科学院上海技术物理研究所 微镜结构及其制作方法、微镜阵列和探测器

免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。

阅读全文 双屏查看 官方信息 专利公告 收藏专利 下载PDF 下载WORD