申请/专利权人：南京大学

申请日：2021-04-22

公开（公告）日：2024-03-22

公开（公告）号：CN113193106B

主分类号：H10N60/01

分类号：H10N60/01;H10N60/83;H01L31/0352;H01L31/09;G01J11/00

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.03.22#授权;2021.08.17#实质审查的生效;2021.07.30#公开

摘要：本发明公开了一种超导纳米线单光子探测器阵列的设计，在基底上生成纳米薄膜，在纳米薄膜上生成第一电极和网格状的第二电极，第二电极包括行列电极和顶层电极，在网格中生成纳米线单元，组成探测器阵列；本发明将三维工艺转化为二维工艺，降低了工艺难度，保持了超大像素，行列电极分次生长，降低了读出电路的难度，行列电极有隔离层，分辨能力强，纳米线的宽度合适，均匀性好，器件性能优，成品率高。

主权项：1.一种超导纳米线单光子探测器阵列的设计方法，其特征在于，包括：在清洗过的基底上生成纳米薄膜，在纳米薄膜的外圈生成第一电极、内圈生成第二电极，第二电极由行、列电极交错排布形成网格状，在网格中生成蜿蜒状的纳米线，在相邻列电极之间生成电极隔离层和空隙，在电极隔离层上生成顶层电极以连接相邻列电极，行电极从空隙通过，由纳米线并联电阻形成纳米线单元，由数个纳米线单元组成探测器阵列的阵元。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 南京大学 一种超导纳米线单光子探测器阵列的设计方法

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