申请/专利权人：深圳市纳设智能装备股份有限公司

申请日：2022-01-21

公开（公告）日：2024-03-22

公开（公告）号：CN114420527B

主分类号：H01L21/68

分类号：H01L21/68;H01J37/32;C30B25/08;C30B25/12

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.03.22#授权;2023.12.01#著录事项变更;2022.05.20#实质审查的生效;2022.04.29#公开

摘要：本发明提供了一种吸盘机构及装设装置，涉及化学气相沉积设备领域，吸盘机构包括载盘吸附管、载盘吸附件、晶圆吸附管、晶圆吸附件及支撑件，载盘吸附管可转动地设于支撑件上，载盘吸附件设于载盘吸附管的一端，且与载盘吸附管连通，载盘吸附件用于吸附载盘，晶圆吸附管穿设于载盘吸附管中，晶圆吸附件设于晶圆吸附管靠近载盘吸附件的一端，且与晶圆吸附管连通，晶圆吸附件用于吸附晶圆，晶圆吸附管能够在载盘吸附管中移动，以使吸附于晶圆吸附件上的晶圆移动至吸附于载盘吸附件上的载盘上。本发明提供的吸盘机构操作简易，可实现自动化取放晶圆，提高了效率，且避免了人工操作的污染，从而提高了产能及产品的良率。

主权项：1.一种吸盘机构，其特征在于，包括载盘吸附管、载盘吸附件、晶圆吸附管、晶圆吸附件及支撑件，所述载盘吸附管可转动地设于所述支撑件上，所述载盘吸附件设于所述载盘吸附管的一端，且与所述载盘吸附管连通，所述载盘吸附件用于吸附载盘，所述晶圆吸附管穿设于所述载盘吸附管中，所述晶圆吸附件设于所述晶圆吸附管靠近所述载盘吸附件的一端，且与所述晶圆吸附管连通，所述晶圆吸附件用于吸附所述晶圆，所述载盘上设有载盘孔，所述晶圆吸附管及所述晶圆吸附件能够穿过所述载盘孔，所述晶圆吸附管能够在所述载盘吸附管中移动，以使吸附于所述晶圆吸附件上的所述晶圆移动至吸附于所述载盘吸附件上的所述载盘上。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 深圳市纳设智能装备股份有限公司 一种吸盘机构及装设装置

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