申请/专利权人：云南中科鑫圆晶体材料有限公司

申请日：2022-11-18

公开（公告）日：2024-03-22

公开（公告）号：CN115771996B

主分类号：C03B23/207

分类号：C03B23/207

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.03.22#授权;2023.03.28#实质审查的生效;2023.03.10#公开

摘要：VGF晶体生长用超大直径石英管的真空封焊方法，属于VGF晶体生长技术领域，具体涉及一种用于VGF法真空生长超大直径晶体的石英管封焊的方法。本发明方法中使用的是热应力检测合格的石英管和石英管封帽，在将石英管和石英管封帽清洗干净，坩埚装入石英管内后进行封焊，封焊过程具体包括预热、封焊、退火步骤。本发明的方法，保障长周期高温的晶体生长过程中保证石英管不会出现裂管现象，最大程度的保障石英管真空封焊的一次成功率。

主权项：1.VGF晶体生长用超大直径石英管的真空封焊方法，其特征在于该方法中使用的是热应力检测合格的石英管和石英管封帽，在将石英管和石英管封帽清洗干净，坩埚装入石英管内后进行封焊，封焊过程具体包括预热、封焊、退火步骤，具体是：预热：在石英管内真空值达到至少10-4Pa后，四把氢氧焰焊枪分别对应石英管环形焊道14周长同时预热，四把氢氧焰焊枪温度由低到高四个温度段分别对石英管环形焊道整个环形外壁预热5-10分钟，四个温度段分别是400-500℃、600-700℃、800-900℃、1000℃；之后，使焊枪温度达到1200℃，对石英管环形焊道10cm宽度范围保持对石英管的预热，氧气出口压力达到0.4MPa,氢气出口压力保持0.2MPa，持续保持氢氧焰对焊道预热，待焊道位置的石英管产生白光后开始封焊；封焊：四把氢氧焰焊枪分别对应石英管环形焊道14周长，四把焊枪完成对整个焊道的接力封焊；其中一把焊枪封焊时，其它焊枪保持预热烘烤，具体是：当封焊枪的氢氧焰温度达到1200℃后，在石英管环形焊道上保持焊枪U型轨迹移动，U型宽度5cm，使半熔融的石英管在真空作用下微量塌陷，并与石英封帽熔接，保持焊枪在焊道上的U型轨迹移动，使轨迹不断叠加，直至焊道周长的14，然后由其他焊枪接力进行封焊，直至封焊结束，在其中一把焊枪封焊时，其它三把焊枪同时保持1000℃在其对应的14周长焊道上烘烤；封焊完成，将最后一把焊枪温度调整至与其他焊枪温度相同，并继续在焊道上烘烤，最后依次加大四把焊枪的氢氧焰气流量，在焊道中间呈一字型轨迹移动，使焊道中间再焊熔出一道宽度5mm，深度1-2mm的再次塌陷加强筋，使石英管与石英焊帽在焊道上完全密封粘接；退火：依次调节氢氧焰气流量至温度1000℃、800℃、600℃、400℃，并分别在石英管环形封口面上移动烘烤5分钟、10分钟、15分钟、15分钟，最后关闭氢氧焰，自然冷却石英管。

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