申请/专利权人：佛山市华道超精科技有限公司

申请日：2020-12-03

公开（公告）日：2024-03-22

公开（公告）号：CN112596345B

主分类号：G03F7/20

分类号：G03F7/20

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.03.22#授权;2021.04.23#实质审查的生效;2021.04.02#公开

摘要：本发明实施例公开了一种刚柔耦合多轴气浮平台，包括：沿第一方向运动的第一运动平台，所述第一运动平台为气浮平台，包括第一气浮导轨、在所述第一气浮导轨上运动的第一工作平台和第一接触切换装置，所述第一接触切换装置用于控制所述第一工作平台与所述第一气浮导轨为接触状态或非接触状态；以及位于上述第一运动平台上方的沿第二方向运动的第二运动平台；所述第一与第二运动平台通过第一柔性铰链连接，所述第一柔性铰链的高度大于第一工作平台的厚度。该多轴气浮平台能实现大承载的长行程高精度定位。

主权项：1.一种刚柔耦合多轴气浮平台，其特征在于，包括：沿第一方向运动的第一运动平台，所述第一运动平台为气浮平台，包括第一气浮导轨、在所述第一气浮导轨上运动的第一工作平台和第一接触切换装置，所述第一接触切换装置用于控制所述第一工作平台与所述第一气浮导轨为接触状态或非接触状态；以及位于上述第一运动平台上方的沿第二方向运动的第二运动平台；所述第一与第二运动平台通过第一柔性铰链连接；姿态调整机构，所述姿态调整机构用于调整所述第一柔性铰链的形态和方向，从而调整所述第二运动平台的姿态；所述姿态调整机构包括上固定架、下固定架、驱动动子和驱动定子，所述上固定架一端连接至所述第一柔性铰链连接块，另一端连接至所述驱动动子，所述下固定架的一端连接至所述第一气浮运动平台，另一端连接至所述驱动定子，所述驱动动子沿所述驱动定子的长度方向移动以改变所述第一柔性铰链的形态和方向。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 佛山市华道超精科技有限公司 一种刚柔耦合多轴气浮平台

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