申请/专利权人：苏州博众仪器科技有限公司;博众精工科技股份有限公司

申请日：2022-04-28

公开（公告）日：2024-03-22

公开（公告）号：CN114864128B

主分类号：G21K1/093

分类号：G21K1/093

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.03.22#授权;2022.08.23#实质审查的生效;2022.08.05#公开

摘要：本发明属于电子束传输技术领域，公开了一种电子束电磁偏转装置及导通管，电子束电磁偏转装置包括偏转机构，偏转机构包括：X偏转线圈组,X偏转线圈组包括两个沿Y向间隔设置的铁芯组件；Y偏转线圈组，Y偏转线圈组包括两个沿X向间隔设置的铁芯组件；铁芯组件包括铁芯和线圈，X偏转线圈组的铁芯沿X向设置，X偏转线圈组的两个线圈串联形成第一回路，Y偏转线圈组的铁芯沿Y向设置，Y偏转线圈组的两个线圈串联形成第二回路；四个铁芯在同一平面内首尾相连，形成允许通导管穿过的空间，第一回路和第二回路内的电流被配置为能够改变，以改变空间内的磁场方向或者磁场大小。在平面内形成X、Y两个方向的磁场，对电子束的轴向角度进行偏转。

主权项：1.一种电子束电磁偏转装置，其特征在于，包括偏转机构，所述偏转机构包括：X偏转线圈组1，所述X偏转线圈组1包括两个沿Y向间隔设置的铁芯组件2；Y偏转线圈组3，所述Y偏转线圈组3包括两个沿X向间隔设置的所述铁芯组件2；所述铁芯组件2包括铁芯21和线圈22，所述线圈22绕置于所述铁芯21上，所述X偏转线圈组1的所述铁芯21沿X向设置，且所述X偏转线圈组1的两个所述线圈22串联形成第一回路，所述Y偏转线圈组（3）的所述铁芯21沿Y向设置，且所述Y偏转线圈组3的两个所述线圈22串联形成第二回路；四个所述铁芯21在同一平面内首尾相连，并形成允许通导管（8）穿过的空间，所述第一回路和所述第二回路内的电流被配置为能够改变，以改变所述空间内的磁场方向或者磁场大小；所述偏转机构设置有两个，且两个所述偏转机构的中心线重合；当所述电子束通过所述通导管（8）时，两个所述的偏转机构能够对所述电子束进行两次有效的偏转，使得所述电子束与所述通导管（8）在空间位置上同轴。

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