申请/专利权人：中天科技精密材料有限公司;江苏中天科技股份有限公司;南通晶体有限公司

申请日：2022-09-06

公开（公告）日：2024-03-22

公开（公告）号：CN115304243B

主分类号：C03B8/04

分类号：C03B8/04;C03B19/14;C03B20/00

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.03.22#授权;2024.02.20#专利申请权的转移;2022.11.25#实质审查的生效;2022.11.08#公开

摘要：本发明提供一种石英玻璃沉积装置以及石英玻璃的制备方法，包括：由所述平面炉顶、上炉体、下炉体依次连接形成底端开口的炉体、沉积单元以及喷灯；上炉体具有向远离炉体内部的方向凸出的圆弧内壁，下炉体的内壁沿着深度方向线性延伸；炉体的侧壁具有靠近所述平面炉顶的排气孔；沉积单元包括位于炉体内部的支撑杆和固定连接于支撑杆顶部的沉积基底，支撑杆沿自身轴线旋转；喷灯，固定于平面炉顶处；所述喷灯的喷射方向朝向所述沉积基底，且喷射方向与所述炉体的轴线具有夹角θ，30°≤θ≤60°，且喷灯远离所述炉体内部的一端与所述轴线的垂直距离为100mm～130mm，采用该装置能够制得结构均匀性好的石英玻璃砣。

主权项：1.一种石英玻璃的制备方法，其特征在于，采用石英玻璃沉积装置制备，所述石英玻璃沉积装置包括：由平面炉顶、上炉体、下炉体依次连接形成底端开口的炉体、沉积单元以及喷灯；所述上炉体、下炉体各自包括环状外壳；其中，所述上炉体具有向远离所述炉体内部的方向凸出的圆弧内壁，所述下炉体的内壁沿着深度方向线性延伸；所述炉体的侧壁具有靠近所述平面炉顶的排气孔；所述沉积单元包括位于所述炉体内部的支撑杆和固定连接于所述支撑杆顶部的沉积基底，其中所述支撑杆沿自身轴线旋转；所述喷灯固定于所述平面炉顶处；所述喷灯的喷射方向朝向所述沉积基底，且所述喷射方向与所述炉体的轴线具有夹角θ，30°≤θ≤60°；所述喷灯远离所述炉体内部的一端与所述轴线的垂直距离为100mm～130mm；所述石英玻璃的制备方法包括以下步骤：利用喷灯对氢气、氧气进行喷射燃烧，同时对炉体内部进行预热；通过底端开口进气并通过排气孔排气，在所述炉体内部形成气体循环；将气态含硅化合物通入喷灯的进料管中，所述气态含硅化合物与氢气、氧气燃烧产生的水蒸气在所述喷灯的喷口处反应生成二氧化硅颗粒并喷射至所述沉积基底；所述二氧化硅颗粒在沉积基底上沉积形成石英玻璃砣，其中，在沉积过程中，支撑杆带动所述沉积基底作旋转运动；所述氢气的流速为200Lmin～500Lmin，所述氧气的流速为100Lmin～250Lmin，所述气态含硅化合物的流速为13Lmin～18Lmin；所述沉积基底的旋转速度为3rmin～5rmin；在沉积过程中，所述平面炉顶至所述石英玻璃砣的垂直距离为340mm～350mm。

全文数据：

权利要求：

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