申请/专利权人：四川虹基光玻新材料科技有限公司;北京远大信达科技有限公司

申请日：2022-03-24

公开（公告）日：2024-03-22

公开（公告）号：CN114774855B

主分类号：C23C14/06

分类号：C23C14/06;C23C14/10;C23C14/12;C23C14/26;C23C14/35;C23C14/58;G02B1/115;G02B1/14;G02B1/18

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.03.22#授权;2022.08.09#实质审查的生效;2022.07.22#公开

摘要：本发明涉及镀膜技术领域，公开了一种AR膜和AF膜及其制备方法和应用，该方法包括：1将待镀膜的基片引入至第一加工室中进行预处理，得到预处理基片；2将预处理基片引入至AR室中形成AR膜，得到含有AR膜的基片；3将含有AR膜的基片引入至含有AF膜料的AF室中，并将AF膜料沉积于AR膜的表面，得到含有AR膜和AF膜的基片；4将含有AR膜和AF膜的基片在AF室中进行热压处理。采用本发明方法制备得到的AR膜和AF膜通具有表面硬度高、耐摩擦性能的特点。

主权项：1.一种制备AR膜和AF膜的方法，其特征在于，该方法包括：1将待镀膜的基片引入至第一加工室中进行预处理，得到预处理基片；2将所述预处理基片引入至AR室中形成AR膜，得到含有AR膜的基片；3将所述含有AR膜的基片引入至含有AF膜料的AF室中，并将所述AF膜料沉积于AR膜的表面，得到含有AR膜和AF膜的基片；4将所述含有AR膜和AF膜的基片在AF室中进行热压处理；所述热压处理的条件至少包括：真空度≯5×10-3Pa，温度为140-160℃，时间为5-8min；其中，所述AF膜料中含有乙氧基九氟丁烷，且所述乙氧基九氟丁烷的含量占所述AF膜料总体积的82-90％；所述乙氧基九氟丁烷由乙基全氟异丁基醚和乙基九氟正丁基醚两种物质组成，且所述乙基九氟正丁基醚的含量占所述AF膜料总体积的36-40％。

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