申请/专利权人：朗姆研究公司

申请日：2019-07-02

公开（公告）日：2024-03-22

公开（公告）号：CN112368415B

主分类号：C23C16/458

分类号：C23C16/458;C23C16/46;C23C16/455;H05B1/02

优先权：["20180705 US 62/694,171"]

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.03.22#授权;2021.07.23#实质审查的生效;2021.02.12#公开

摘要：一种用于衬底处理系统的温度受控衬底支撑件包含位于处理室中的衬底支撑件。衬底支撑件分别包括N个区域和N个电阻式加热器，其中N是大于1的整数。温度传感器位于所述N个区域中的一个中。控制器被配置成计算在操作期间所述N个电阻式加热器的N个电阻以及响应于以下条件，在所述衬底处理系统的操作期间调整通向所述N个电阻式加热器中的N‑1个的功率：通过所述温度传感器在所述N个区域中的所述一个中所测得的温度；所述N个电阻式加热器的所述N个电阻；以及N‑1个电阻比。

主权项：1.一种用于衬底处理系统的温度受控衬底支撑件，所述温度受控衬底支撑件包含：衬底支撑件，其分别包括N个区域和N个电阻式加热器，其中N是大于1的整数，且温度传感器位于所述N个区域中的一个中；以及控制器，其被配置成：确定不具有所述温度传感器的区域中的电阻式加热器的电阻相对于具有所述温度传感器的区域中的电阻式加热器的电阻在预定温度下的N-1个电阻比，使用所述N-1个电阻比来确定不具有所述温度传感器的区域中的电阻式加热器的期望电阻，以及根据所述期望电阻来调整通向所述不具有温度传感器的区域中的N-1个电阻式加热器的功率。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 朗姆研究公司 衬底处理系统中的衬底支撑件的动态温度控制

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