申请/专利权人：深圳市华星光电半导体显示技术有限公司

申请日：2022-02-14

公开（公告）日：2024-03-22

公开（公告）号：CN114536996B

主分类号：B41J11/00

分类号：B41J11/00;H10K71/00;H10K71/13

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.03.22#授权;2022.06.14#实质审查的生效;2022.05.27#公开

摘要：本发明公开了一种基板烘烤装置，涉及显示面制程工艺技术领域，本申请主要在加热台的基础上设置了固定机构，其中，固定机构用于在加热面承载所述基板上时，限制住所述基板至少一角部与所述加热台在垂直于所述加热面上的相对位移。在加热过程当中，即便基板因两侧表面出现受热情况不一而使得其角部出现翘起的趋势时，在固定机构的作用下，角部也能够相对加热台在垂直于加热面的方向上保持固定，进而了避免出现角部出现翘起、受热不良的问题，改善了基板的烘烤效果。

主权项：1.一种基板烘烤装置，其特征在于，包括：加热台，所述加热台上形成有用于承载所述基板受热面的加热面；固定机构，所述固定机构用于在所述加热面承载所述基板时，限制住所述基板至少一角部与所述加热台在垂直于所述加热面方向上的相对位移，所述角部为所述基板外轮廓上呈尖锐的转角部位，所述固定机构包括至少一个角位配合件，所述角位配合件连接在所述加热台上，所述角位配合件形成有在垂直于所述加热面方向上依次设置的第一限位面和第二限位面，所述第一限位面和所述第二限位面彼此相对设置形成卡口，所述卡口与所述角部相适配，所述第一限位面处于所述第二限位面靠近所述加热台一侧，所述角位配合件还形成有受热部，所述受热部延伸至所述加热面上并与所述加热面热传导接触，以使所述加热面的热量被传递至所述第二限位面。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 一种基板烘烤装置

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