申请/专利权人：上海东煦电子科技有限公司

申请日：2023-08-05

公开（公告）日：2024-03-22

公开（公告）号：CN220648932U

主分类号：F26B11/18

分类号：F26B11/18;H01L21/687;H01L21/67;F26B5/08;F26B25/18;F26B25/02

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.03.22#授权

摘要：本实用新型涉及晶圆加工技术领域，具体为一种特殊晶圆加工用甩干机，包括箱体，所述箱体的表面一侧固定开设有双开门，所述双开门的一侧表面固定开设有手扣，所述箱体的顶端表面固定开设有一号排风扇，所述箱体的另一侧固定连接有排水管，所述箱体的一侧内壁固定连接有分层板，所述分层板的表面固定开设有若干漏水孔，本实用新型，通过开设箱体内底壁的电机，而电机带动的有轴承杆，通过电机带动轴承板的转动，轴承板内部开设有轴承结构，为主轴承，主轴承的两侧连接有若干子轴承，从而达到了通过电机带动轴承板的轴承转动，从而带动轴承杆，而轴承杆顶端两侧的连接杆顶端的置物盒内部的晶圆可以通过旋转达到甩干的作用。

主权项：1.一种特殊晶圆加工用甩干机，包括箱体1，其特征在于：所述箱体1的表面一侧固定开设有双开门2，所述双开门2的一侧表面固定开设有手扣3，所述箱体1的顶端表面固定开设有一号排风扇4，所述箱体1的另一侧固定连接有排水管5，所述箱体1的一侧内壁固定连接有分层板6，所述分层板6的表面固定开设有若干漏水孔7，所述置物盒8内部固定连接有若干夹持圈9，所述置物盒8的底端固定连接有弹簧10。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 上海东煦电子科技有限公司 一种特殊晶圆加工用甩干机

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