申请/专利权人：天津中科晶禾电子科技有限责任公司

申请日：2023-05-29

公开（公告）日：2024-03-22

公开（公告）号：CN220651936U

主分类号：H01J1/20

分类号：H01J1/20;H05B6/36;H05B6/10;H01J37/08

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.03.22#授权

摘要：本实用新型涉及半导体技术领域，公开一种电子发射装置及电荷中和设备。其中电子发射装置包括支架、电子发射体、直流稳压电源、感应加热线圈、交流电源和底座。电子发射体安装于支架上；电子发射体的一端连接于直流稳压电源的负极，直流稳压电源的正极接地，直流稳压电源用于为电子发射体提供偏置电压；感应加热线圈的中间设置有容纳部，电子发射体位于容纳部内，感应加热线圈的两端连接于交流电源，交流电源用于为感应加热线圈提供交流电流，底座用于安装支架和感应加热线圈。本实用新型利用感应加热线圈的电磁感应实现非接触式加热从而提高能量利用效率，因此能够适应地增加电子发射体的直径，提高电子发射体的使用寿命。

主权项：1.一种电子发射装置，其特征在于，包括：底座7；支架1，其安装于所述底座7上；电子发射体2，其安装于所述支架1上；直流稳压电源3，所述电子发射体2的一端连接于所述直流稳压电源3的负极，所述直流稳压电源3的正极接地，所述直流稳压电源3用于为所述电子发射体2提供偏置电压；感应加热线圈4，其固定安装于所述底座7上，所述感应加热线圈4的中间设置有容纳部，所述电子发射体2位于所述容纳部内，所述感应加热线圈4的两端连接于交流电源5，所述交流电源5用于为所述感应加热线圈4提供交流电流。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 天津中科晶禾电子科技有限责任公司 一种电子发射装置及电荷中和设备

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