申请/专利权人：江苏索力德普半导体科技有限公司

申请日：2023-12-06

公开（公告）日：2024-03-26

公开（公告）号：CN117766475A

主分类号：H01L23/31

分类号：H01L23/31;H01L23/48;H01L21/768

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.12#实质审查的生效;2024.03.26#公开

摘要：本发明提出了一种优化功率分立器件电流参数的结构，包括衬底，于所述衬底之上设置有元胞，还包括设置于衬底之上的源极金属、栅极总线金属、栅极金属垫片和源极金属垫片；所述源极金属、栅极总线金属、栅极金属垫片和源极金属垫片分层设置，所述源极金属和栅极总线金属置于底层，所述栅极金属垫片和源极金属垫片置于顶层；所述顶层与底层之间以介质隔离；所述栅极总线金属打孔引出至栅极金属垫片，所述源极金属打孔引出至源极金属垫片。本发明通过利用原本栅极电极下方未利用的区域，将其设计为元胞，栅极电极通过双层金属设计引到表面栅极电极金属上，一方面增加了有源区电流通道数量，另一方面消除了栅极电极金属面积的限制。

主权项：1.一种优化功率分立器件电流参数的结构，包括衬底1，于所述衬底1之上设置有元胞2，其特征在于，还包括设置于衬底1之上的源极金属4、栅极总线金属3、栅极金属垫片5和源极金属垫片6；所述源极金属4、栅极总线金属3、栅极金属垫片5和源极金属垫片6分层设置，所述源极金属4和栅极总线金属3置于底层，所述栅极金属垫片5和源极金属垫片6置于顶层；所述顶层与底层之间以介质7隔离；所述栅极总线金属3打孔引出至栅极金属垫片5，所述源极金属4打孔引出至源极金属垫片6。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 江苏索力德普半导体科技有限公司 一种优化功率分立器件电流参数的结构及其制作方法

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