申请/专利权人：深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司

申请日：2017-12-12

公开（公告）日：2024-03-26

公开（公告）号：CN107845704B

主分类号：H01L31/18

分类号：H01L31/18;H01L21/68

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.03.26#授权;2018.08.28#著录事项变更;2018.04.20#实质审查的生效;2018.03.27#公开

摘要：本发明公开了用于石墨舟归整硅片的装置，包括：底座；定位机构，用于对所述石墨舟进行定位；一个或多个振动装置，设置在所述底座上，设置有振动源、以及与所述定位机构对接的并可控的对接结构，所述振动源通过所述对接结构将振动传递到所述石墨舟上。本发明延长了石墨舟的使用寿命，降低了其维护成本，同时适用于不同磨损程度的石墨舟片的使用。

主权项：1.一种用于石墨舟归整硅片的装置，其特征在于，包括：底座；定位机构，用于对所述石墨舟进行定位；一个或多个振动装置，设置在所述底座上，设置有振动源、以及与所述定位机构对接的并可控的对接结构，所述振动源通过所述对接结构将振动传递到所述石墨舟上；所述对接结构包括振动传递板以及与所述振动传递板传动连接的提升机构，所述振动源安装在所述振动传递板上，所述提升机构包括气缸，所述气缸水平置于所述底座上，所述气缸的推杆上设置有一气缸顶升块，所述振动传递板下侧设置有第一垫块，所述第一垫块与所述气缸顶升块之间相对垂直设置并通过斜面接触；所述对接结构还包括导向机构，所述导向机构包括固定设置的直线轴承以及设置在所述直线轴承上的导柱，所述导柱与所述振动传递板固定连接。

全文数据：一种用于石墨舟归整硅片的装置技术领域[0001]本发明涉及光伏制造领域，尤其涉及一种用于石墨舟归整硅片的装置。背景技术[0002]经过近十年的努力，我国己成为全世界最大的光伏制造及光伏应用国。光伏制造涉及多种装置和设备，其中，石墨舟是太阳能电池片镀减反射膜时的一种载体。现有的石墨舟包括:石墨舟片、陶瓷套、陶瓷杆、石墨杆、石墨隔块等石墨配件。其工作原理为，将未镀膜的硅片放在石墨舟片的卡点上，每个舟片上可放固定数量的硅片。然后，将石墨舟放置在PECVD真空镀膜设备的腔体内，采用PECVD工艺进行放电镀膜。镀膜结束后，取出石墨舟，将硅片从石墨舟上卸取下来。[0003]随着时间的推移，作为光伏行业重要治具，石墨舟普遍存在正常使用磨损老化的情况，直接影响石墨舟装卸片机自动装片的成功率，经常发生插片不到位的情况，对后续工艺生产造成不利的影响。发明内容[0004]本发明的目的是针对上述现有技术存在的缺陷，提供一种用于石墨舟归整硅片的装置。[0005]本发明采用的技术方案是，一种用于石墨舟归整硅片的装置，包括：底座；定位机构，用于对所述石墨舟进行定位；一个或多个振动装置，设置在所述底座上，设置有振动源、以及与所述定位机构对接的并可控的对接结构，所述振动源通过所述对接结构将振动传递到所述石墨舟上。[0006]优选为，所述对接结构包括振动传递板以及与所述振动传递板传动连接的提升机构，所述振动源安装在所述振动传递板上，所述提升机构用于将所述振动传递板进行提升以使其与所述定位机构实现对接。[0007]优选为，所述提升机构包括:气缸，所述气缸的推杆与所述振动传递板传动连接以用于提升所述振动传递板。[0008]优选为，所述气缸水平置于所述底座上，所述气缸的推杆末端设置有一气缸顶升块，所述振动传递板下侧设置有第一垫块，所述第一垫块与所述气缸顶升块之间相对垂直设置并通过斜面接触，当所述气缸推动所述气缸顶升块时通过所述斜面将所述第一垫块顶起进而顶起所述振动传递板。[0009]优选为，所述气缸顶升块下方还设置有第二垫块用以支撑所述气缸顶升块。[0010]优选为，所述对接结构还包括导向机构，所述导向机构包括固定设置的直线轴承以及设置在所述直线轴承上的导柱，所述导柱与所述振动传递板固定连接。[0011]优选为，还包括一设置在所述底座上的石墨舟输送装置，所述石墨舟输送装置用于将所述石墨舟以及所述定位机构输送到所述振动装置的上方。[0012]优选为，所述石墨舟输送装置包括:设置在所述底座一端的动力源以及与所述动力源的输出轴传动连接的传动带组件。[0013]优选为，所述传动带组件两侧还设置有用于对所述定位机构进行限位的限位条。[0014]优选为，还包括位置传感器以及与之信号连接的控制器，所述控制器与所述振动装置信号连接，所述位置传感器用于获取所述定位机构的位置信息，所述控制器根据所述位置信息控制所述对接结构与所述定位机构进行对接。[0015]与现有技术相比，本发明至少具有以下有益效果:本发明通过设置在石墨舟下部的振动装置对石墨舟进行振动，利用硅片自重，采用胁迫硅片振动原理，使其沿石墨舟卡点工作斜面随振动下滑至正确位置上，以达到使未能插装到位的硅片重新定位至石墨舟卡点内的目的，保证了装片及卸片位置的精确。这样，解决了石墨舟在因不同磨损、老化情况而导致的硅片不能插装到正确位置的问题，延长了石墨舟的使用寿命和降低了维护成本。同时，对于新老舟混用的情形，也保证了装片及卸片的位置精度。附图说明[0016]图1为本发明用于石墨舟归整硅片的装置与石墨舟配合结构图。[0017]图2为本发明用于石墨舟归整硅片的装置结构示意图。[0018]图3为本发明中振动装置的前视图。[0019]图4为本发明中振动装置的俯视图。[0020]图5为本发明中振动装置的左视图。[0021]图6为本发明中定位机构的结构示意图。具体实施方式[0022]下面结合附图和实施例对本发明做进一步说明。[0023]如图1及图2所示，本发明提出了一种用于石墨舟归整硅片的装置，其包括：底座110、定位机构170以及一个或多个振动装置15〇。其中，定位机构170用于对所述石墨舟10〇进行定位;一个或多个振动装置150设置在所述底座110上，振动装置150设置有振动源、以及与所述定位机构170对接的并可控的对接结构，所述振动源通过所述对接结构将振动传递到所述石墨舟上。其中，底座110主要是对定位机构170以及振动装置150起到支撑和固定作用，石墨舟100可通过定位机构170放置到振动装置150的上方。本发明通过设置在石墨舟100下部的振动装置150对石墨舟1〇〇进行振动，利用硅片自重，采用胁迫硅片振动原理，使其沿石墨舟100卡点工作斜面随振动下滑至正确位置上，以达到使未能插装到位的硅片重新定位至石墨舟100卡点内的目的，保证了装片及卸片位置的精确。这样，解决了石墨舟100在因不同磨损、老化情况而导致的硅片不能插装到正确位置的问题，延长了石墨舟的使用寿命和降低了维护成本。同时，对于新老舟混用的情形，也保证了装片及卸片的位置精度。[0024]如图3-5所示，作为一种实施方式，振动装置150的对接结构包括振动传递板151以及与所述振动传递板151传动连接的提升机构152,所述振动源153安装在所述振动传递板151上，所述提升机构I52用于将所述振动传递板151进行提升以使其与所述定位机构17〇实现对接。本实施例中，振动传递板151与定位机构170的对接可以是接触形式的对接，也就是说，振动传递板151提升后顶在所述定位机构17〇下方与其接触，从而可以将振动传递到定位机构170上，进而实现石墨舟100的振动。本实施中振动源可以采用仓壁振动器，也可以采用其它类型的振动器。[0025]作为提升机构152的一种结构形式，其包括:气缸154,所述气缸154的推杆与所述振动传递板151传动连接以用于提升所述振动传递板151。例如，气缸154的推杆直接与所述振动传递板151的下侧连接，气缸154竖向布置则可以提升或下降所述振动传递板151，气缸设置有可调试管接头154a。[0026]作为一种优选的实施方式，所述气缸154可水平置于所述底座110上，所述气缸154的推杆末端通过一连接板155设置一气缸顶升块156,所述振动传递板151下侧设置有第一垫块157a，所述第一垫块157a与所述气缸顶升块156之间相对垂直设置并通过斜面接触，当所述气缸154推动所述气缸顶升块156时通过所述斜面将所述第一塾块157a顶起进而顶起所述振动传递板151。这样的设置方式使得气缸154所占用的空间更小，进而使得整个装置的体积更小。[0027]在本实施例中，所述气缸顶升块156下方还设置有第二垫块157b用以支撑所述气缸顶升块156,这样避免气缸154的推杆受到径向的压力，确保气缸154的工作安全性。[0028]作为进一步的改进，所述对接结构还包括导向机构，所述导向机构包括固定设置的直线轴承158以及设置在所述直线轴承158上的导柱159,所述导柱159与所述振动传递板151固定连接。导向机构保证了振动传递板151在上升或下降过程中的路径精度，从而也保证振动传递板151与定位机构170的接触面更大，传递振动更好。[0029]如图1-2并结合图6所示，作为进一步的改进，本实施例中用于石墨舟归整硅片的装置还包括一设置在所述底座110上的石墨舟输送装置130,所述石墨舟输送装置130用于将所述石墨舟100以及所述定位机构170输送到所述振动装置150的上方。这样可实现石墨舟100在进行自动装片后进行自动归整硅片的目的，从而实现整个过程的自动化。[0030]作为石墨舟输送装置的一种实施方式，其包括:设置在所述底座110—端的动力源131以及与所述动力源131的输出轴传动连接的传动带组件132。传动带组件132的数量为两个，分别对应定位机构17〇下底面的两边缘位置，从而保证传输的平稳性，动力源131可以为电机。当然，作为其它的可实施方式，石墨舟输送装置还可以是其它形式的结构，例如，可通过滑轨与滑块的传输结构方式进行传输，也可以是传动辊的方式进行传输。[0031]在本实施例中，所述传动带组件132两侧还设置有用于对所述定位机构170进行限位的限位条134。通过限位条134的限位可保证定位装置在传动带组件132上运行的准确性。[0032]在本实施例中，为了实现自动化的控制方式，用于石墨舟归整硅片的装置还包括位置传感器133以及与之信号连接的控制器未示出），所述控制器与所述振动装置150信号连接，所述位置传感器133用于获取所述定位机构170的位置信息，所述控制器根据所述位置信息控制所述对接结构与所述定位机构170进行对接。以本实施例中采用气缸提升振动传递板151的方式为例，当位置传感器133感应到定位装置170及其上的石墨舟到位后，位置信号传递给控制器，控制器根据位置信号控制气缸154启动以提升振动传递板151使其与定位机构接触，此时振动源开始工作，完成硅片的归整，整个过程中，石墨舟置于定位机构上，保证了其后续工艺可正常进行不受影响。[0033]上述实施例仅用于说明本发明的具体实施方式。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明构思的前提下，还可以做出若干变形和变化，这些变形和变化都应属于本发明的保护范围。

权利要求：1.一种用于石墨舟归整硅片的装置，其特征在于，包括：底座；定位机构，用于对所述石墨舟进行定位；一个或多个振动装置，设置在所述底座上，设置有振动源、以及与所述定位机构对接的并可控的对接结构，所述振动源通过所述对接结构将振动传递到所述石墨舟上。2.根据权利要求1所述的用于石墨舟归整硅片的装置，其特征在于，所述对接结构包括振动传递板以及与所述振动传递板传动连接的提升机构，所述振动源安装在所述振动传递板上，所述提升机构用于将所述振动传递板进行提升以使其与所述定位机构实现对接。3.根据权利要求2所述的用于石墨舟归整硅片的装置，其特征在于，所述提升机构包括:气缸，所述气缸的推杆与所述振动传递板传动连接以用于提升所述振动传递板。4.根据权利要求3所述的用于石墨舟归整硅片的装置，其特征在于，所述气缸水平置于所述底座上，所述气缸的推杆末端设置有一气缸顶升块，所述振动传递板下侧设置有第一垫块，所述第一垫块与所述气缸顶升块之间相对垂直设置并通过斜面接触，当所述气缸推动所述气缸顶升块时通过所述斜面将所述第一垫块顶起进而顶起所述振动传递板。5.根据权利要求4所述的用于石墨舟归整硅片的装置，其特征在于，所述气缸顶升块下方还设置有第二垫块用以支撑所述气缸顶升块。6.根据权利要求2所述的用于石墨舟归整硅片的装置，其特征在于，所述对接结构还包括导向机构，所述导向机构包括固定设置的直线轴承以及设置在所述直线轴承上的导柱，所述导柱与所述振动传递板固定连接。7.根据权利要求1所述的用于石墨舟归整硅片的装置，其特征在于，还包括一设置在所述底座上的石墨舟输送装置，所述石墨舟输送装置用于将所述石墨舟以及所述定位机构输送到所述振动装置的上方。8.根据权利要求7所述的用于石墨舟归整硅片的装置，其特征在于，所述石墨舟输送装置包括:设置在所述底座一端的动力源以及与所述动力源的输出轴传动连接的传动带组件。9.根据权利要求8所述的用于石墨舟归整硅片的装置，其特征在于，所述传动带组件两侧还设置有用于对所述定位机构进行限位的限位条。10.根据权利要求7所述的用于石墨舟归整硅片的装置，其特征在于，还包括位置传感器以及与之信号连接的控制器，所述控制器与所述振动装置信号连接，所述位置传感器用于获取所述定位机构的位置信息，所述控制器根据所述位置信息控制所述对接结构与所述定位机构进行对接。

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