申请/专利权人：台湾积体电路制造股份有限公司

申请日：2023-05-31

公开（公告）日：2024-03-26

公开（公告）号：CN220673766U

主分类号：H04B10/075

分类号：H04B10/075;H04B10/079

优先权：["20220608 US 17/835,414"]

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.03.26#授权

摘要：本实用新型涉及测量马赫‑曾德尔调制器行进波的光电特性的装置，其包含测量测试结构的例如S21的光电参数，测试结构包含测试TWMZM及经连接以传送射频RF信号来光电调制行进通过测试TWMZM的光的电垫的第一例子。类似地测量参考结构的光电参数，参考结构包含参考TWMZM及经连接以传送RF信号来光电调制行进通过参考TWMZM的光的电垫的第二例子。参考TWMZM的残留行进波光电相位调制器比测试TWMZM的行进波光电相位调制器短。例如S21带宽的测试TWMZM的光电特性通过包含从测试结构的测量光电S21减去参考结构的测量光电S21的操作来确定。

主权项：1.一种用于测量马赫-曾德尔调制器TWMZM行进波的光电特性的装置，所述装置包括：测试TWMZM，其包含行进波光电相位调制器、经光学耦合以将光输入到所述行进波光电相位调制器的分光器的第一例子及经光学耦合以组合从所述行进波光电相位调制器输出的光的光组合器的第一例子；参考TWMZM，其包含比所述测试TWMZM的所述行进波光电相位调制器短且具有50微米或更小长度的残留行进波光电相位调制器、经光学耦合以将光输入到所述残留行进波光电相位调制器的所述分光器的第二例子及经光学耦合以组合从所述残留行进波光电相位调制器输出的光的所述光组合器的第二例子；电垫的第一例子，其经连接以光电调制行进通过所述行进波光电相位调制器的光；及所述电垫的第二例子，其经连接以光电调制行进通过所述残留行进波光电相位调制器的光。

全文数据：

权利要求：

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