申请/专利权人：华耀光电科技股份有限公司

申请日：2023-08-18

公开（公告）日：2024-03-26

公开（公告）号：CN220672514U

主分类号：H01L21/66

分类号：H01L21/66;H01L31/18

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.03.26#授权

摘要：本实用新型涉及检测设备技术领域，尤其是涉及一种花篮检测校正装置，包括机架、横向移动组件、升降移动组件以及检测件，机架用于供花篮放置；横向移动组件用于为检测件的横向移动提供动力，横向移动组件和机架固定连接，横向移动组件的移动端和升降移动组件固定连接，升降移动组件用于为检测件的升降移动提供动力，升降移动组件的升降端和检测件固定连接；检测件包括检测部，检测部的宽度和两个侧杆组件之间的宽度相等，检测部的侧边安装有传感器，通过可移动的检测件的布置，能够对花篮两侧的侧杆之间用于供硅片放置的间距进行检测，且对于一部分间距小于标准间距的花篮进行挤压校准。

主权项：1.一种花篮检测校正装置，该花篮1包括两个间隔布置的侧板11，所述侧板11之间安装有底杆组以及两个侧杆组，所述底杆组和侧杆组围绕构成用于供硅片放置的存放腔，所述侧杆组间隔布置，所述侧杆组包括若干与侧板11连接的侧杆12，其特征在于，包括机架2、横向移动组件3、升降移动组件4以及检测件5，所述机架2用于供花篮1放置；所述横向移动组件3用于为检测件5的横向移动提供动力，所述横向移动组件3和机架2固定连接，所述横向移动组件3的移动端和升降移动组件4固定连接，所述升降移动组件4用于为检测件5的升降移动提供动力，所述升降移动组件4的升降端和检测件5固定连接；所述检测件5包括检测部51，所述检测部51的宽度和两个侧杆组件之间的宽度相等，所述检测部51的侧边安装有传感器52。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 华耀光电科技股份有限公司 一种花篮检测校正装置

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