申请/专利权人：广纳四维(广东)光电科技有限公司

申请日：2023-12-29

公开（公告）日：2024-03-29

公开（公告）号：CN117772565A

主分类号：B05D1/02

分类号：B05D1/02;B05D3/00;B05B12/08;G03F7/00;G02B6/124

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.16#实质审查的生效;2024.03.29#公开

摘要：本发明公开了一种衍射光波导的制备方法及衍射光波导。该制备方法通过喷墨设备分别在不同的待喷墨区域喷涂光学胶以形成光学胶层，并通过控制喷墨设备的喷涂量，以使不同的待喷墨区域的光学胶层的胶层厚度不同。通过压印模板对不同的待喷墨区域的光学胶层进行压印，以在光学胶层形成光栅结构。对晶圆衬底进行曝光离膜，以形成衍射光波导。如此，通过喷墨设备仅在待喷墨区域喷涂光学胶，可以节省材料以及增加衍射光波导的透过率，此外，通过喷墨设备可以控制胶层厚度，使不同的待喷墨区域的光学胶层的胶层厚度不同，来匹配不同深度的光栅结构，进而使压印后不同的待喷墨区域的残留胶层的高度一致，提升了衍射光波导的光效稳定性。

主权项：1.一种衍射光波导的制备方法，其特征在于，包括：提供晶圆衬底，所述晶圆衬底上包括多个待喷墨区域；通过喷墨设备分别在不同的所述待喷墨区域喷涂光学胶以形成光学胶层，并通过控制所述喷墨设备的喷涂量，以使不同的所述待喷墨区域的所述光学胶层的胶层厚度不同；通过压印模板对不同的所述待喷墨区域的光学胶层同时进行压印，以在所述光学胶层形成光栅结构；对所述晶圆衬底进行曝光离膜，以形成衍射光波导。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 广纳四维(广东)光电科技有限公司 一种衍射光波导的制备方法及衍射光波导

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