申请/专利权人：东莞思沃智能装备有限公司

申请日：2024-01-16

公开（公告）日：2024-03-29

公开（公告）号：CN117784535A

主分类号：G03F7/20

分类号：G03F7/20

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.16#实质审查的生效;2024.03.29#公开

摘要：本发明涉及电池片生产技术领域，公开了一种接近式曝光模组，以使硅片上的感光层形成所需线路形状的固化结构，包括：固化光模组、调整平台、安装在调整平台上的掩膜板和用于带动固化光模组沿设定方向移动的平移装置；调整平台安装在固化光模组的出光端，且设置有供固化光通过的出光通孔；掩膜板安装在调整平台上，且掩膜板正对出光通孔，调整平台用于调整掩膜板的位置；平移装置用于带动固化光模组沿设定方向移动至设定曝光位置，还用于带动固化光模组沿设定方向的反方向移动至掩膜板更换位置。本发明中的接近式曝光模组，能利于提升制备电池片的效率和大规模制备电池片，并对光伏异质结电池片整个行业提供更低成本的技术路线。

主权项：1.一种接近式曝光模组，其特征在于，用于曝光硅片上的感光层，以使硅片上的感光层形成所需线路形状的固化结构，包括：固化光模组1、调整平台2、安装在调整平台2上的掩膜板3和用于带动所述固化光模组1沿设定方向移动的平移装置4；所述调整平台2安装在所述固化光模组1的出光端，且设置有供所述固化光通过的出光通孔；所述掩膜板3安装在所述调整平台2上，且所述掩膜板3正对所述出光通孔，所述调整平台2用于调整所述掩膜板3的位置，以在硅片上制备出固化栅线图形，所述固化栅线图形用于在铜电镀工艺中吸引铜离子形成铜栅线；所述平移装置4用于带动所述固化光模组1沿设定方向移动至设定曝光位置，还用于带动所述固化光模组1沿设定方向的反方向移动至所述掩膜板3的更换位置。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 东莞思沃智能装备有限公司 一种接近式曝光模组

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