申请/专利权人：上海哥瑞利软件股份有限公司

申请日：2023-12-27

公开（公告）日：2024-03-29

公开（公告）号：CN117790367A

主分类号：H01L21/67

分类号：H01L21/67;H01L21/677

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.16#实质审查的生效;2024.03.29#公开

摘要：本发明涉及一种半导体制造执行系统提前搬送的方法，包括：设备工艺完成后，设备自动化系统向制造执行系统发送请求指令；制造执行系统接收到请求指令后，检查设备是否满足提前搬送的条件；如果满足条件，则自动化模块通过搬运模块向物料控制系统发送叫车请求指令；物料控制系统通过指令控制自动物料搬送系统提前叫车；制造执行系统回复出站结果。本发明通过识别批次工艺结束到设备端口的时间，根据设备端口设置提前叫车时间，让批次在制造执行系统中以出站或者分拣完成事件来提前触发下达搬送命令给物料控制系统，从而实现一定程度的提前搬送，提高搬送效率和设备综合效率，扩大集成电路制造车间的产能。

主权项：1.一种半导体制造执行系统提前搬送的方法，其特征在于，所述方法包括以下步骤：步骤一，当设备工艺完成后，设备自动化系统向制造执行系统发送请求指令；步骤二，所述制造执行系统接收到请求指令后，检查所述设备是否满足提前搬送的条件；步骤三，如果满足提前搬送的条件，则设备自动化系统的自动化模块发送执行指令给所述制造执行系统中的搬运模块，步骤四，所述搬运模块向物料控制系统发送叫车请求指令；步骤五，所述物料控制系统通过指令控制自动物料搬送系统提前叫车；步骤六，所述制造执行系统给设备自动化系统回复出站结果。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 上海哥瑞利软件股份有限公司 一种半导体制造执行系统提前搬送的方法

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