申请/专利权人：瑞红(苏州)电子化学品股份有限公司

申请日：2022-08-24

公开（公告）日：2024-03-29

公开（公告）号：CN115368494B

主分类号：C08F212/14

分类号：C08F212/14;C08F222/40;C08F220/06;C08F220/20;C08F222/08;C08F212/08;C08F220/18;G03F7/038;G03F7/00

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.03.29#授权;2022.12.09#实质审查的生效;2022.11.22#公开

摘要：本申请涉及化学增幅型光刻胶技术领域，具体公开了一种含六氟异丙醇单体共聚物及其制备方法和化学增幅型光刻胶、应用。一种含六氟异丙醇单体共聚物，主要由A单体、B单体聚合制得；所述A单体内含有碱溶解性基团；所述B单体的结构式为：本申请的含六氟异丙醇单体共聚物可用于正型化学增幅型光刻胶制备，其具有图像形貌好、不产生T‑top等形貌缺陷的优点。

主权项：1.一种化学增幅型光刻胶，其特征在于，主要由如下重量份数的原料制成：成膜树脂80-120份、含六氟异丙醇单体共聚物5-15份、光致产酸剂2-3.5份、碱性添加剂0.2-0.4份、溶剂300-2000份；所述含六氟异丙醇单体共聚物，主要由A单体、B单体聚合制得；所述A单体为2-甲基-2-丙烯酸4-羟基苯基酯；所述B单体为1,1,1,3,3,3-六氟-2-4-乙烯基苯基-2-丙醇；所述含六氟异丙醇单体共聚物的制备方法，包括如下步骤：S1：将各类单体、引发剂、溶剂在容器内混合均匀，然后在惰性气体保护作用下加热至60-90℃反应8-20h制得中间液；S2：将中间液滴加至去离子水中，得到白色沉淀物，抽滤、烘干后即得；光刻胶中使用的溶剂为丙二醇甲醚醋酸酯、乳酸乙酯、醋酸乙酯、乙二醇单甲醚乙酸酯中的一种或多种。

全文数据：

权利要求：

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