申请/专利权人：拉普拉斯(无锡)半导体科技有限公司

申请日：2023-12-27

公开（公告）日：2024-04-02

公开（公告）号：CN117803289A

主分类号：E06B3/34

分类号：E06B3/34;E05D5/02;E05F15/00

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.19#实质审查的生效;2024.04.02#公开

摘要：本申请涉及加工技术领域，尤其涉及一种腔盖开合装置及其控制方法、加工设备，以解决腔盖直接铰接于腔体，造成腔盖维修或维护的操作空间小，效率低下的问题。腔盖开合装置包括第一铰链座、第二铰链座、第三铰链座、支撑杆、第一伸缩杆组件和第二伸缩杆组件，腔盖的腔盖外壁与支撑杆的第一端可转动连接，使得腔盖可以基于支撑杆旋转，实现腔盖相对于腔体打开或闭合。在腔盖相对于腔体打开后，在第二伸缩杆组件的作用下，使得腔盖与腔体分离或靠近，实现了腔盖可以远离腔体，增大了腔盖或腔盖上的元器件进行维修或维护时的操作空间，提高了维修或维护的便捷性，从而提高了维修及维护效率。

主权项：1.一种腔盖开合装置，其特征在于，应用于加工设备，所述加工设备包括腔室，所述腔室包括腔体和用于闭合所述腔体的腔盖，所述腔盖包括腔盖内壁和腔盖外壁，其中，在所述腔盖与所述腔体闭合时所述腔盖内壁位于所述腔室内部，所述腔盖外壁位于所述腔盖顶部，所述腔盖开合装置设置于所述腔室外，其中，所述腔盖开合装置包括：第一铰链座、第二铰链座和第三铰链座，均相对于所述腔体固定设置；支撑杆，包括第一端与第二端，其中，所述第一端与所述腔盖外壁可转动连接，以形成绕第一轴线转动的第一转动副，所述第二端与所述第一铰链座铰接，以形成绕第二轴线转动的第二转动副；第一伸缩杆组件，包括第三端与第四端，其中，所述第三端与所述腔盖外壁可转动连接，以形成绕第三轴线转动的第三转动副，所述第四端与所述第二铰链座铰接，以形成绕第四轴线转动的第四转动副，以在所述第一伸缩杆组件的作用下，使所述腔盖绕所述第一轴线旋转，实现所述腔盖相对于所述腔体打开或闭合；第二伸缩杆组件，包括第五端与第六端，其中，所述第五端与所述支撑杆可转动连接，以形成绕第五轴线转动的第五转动副，所述第六端与所述第三铰链座铰接，以形成绕第六轴线转动的第六转动副，以在所述腔盖相对于所述腔体打开后，在所述第二伸缩杆组件的作用下，使连接有所述腔盖的所述支撑杆和所述第一伸缩杆组件分别绕所述第二轴线和所述第四轴线旋转，实现所述腔盖与所述腔体分离或靠近；其中，所述第一轴线、所述第二轴线、所述第三轴线、所述第四轴线、所述第五轴线与所述第六轴线平行。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 拉普拉斯(无锡)半导体科技有限公司 腔盖开合装置及其控制方法、加工设备

免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。

阅读全文 双屏查看 官方信息 专利公告 收藏专利 下载PDF 下载WORD