申请/专利权人：株式会社安川电机

申请日：2023-09-21

公开（公告）日：2024-04-02

公开（公告）号：CN117798941A

主分类号：B25J11/00

分类号：B25J11/00;B25J9/16;B25J19/02

优先权：["20220930 JP 2022-158432"]

专利状态码：在审-公开

法律状态：2024.04.02#公开

摘要：提供搬运系统以及搬运方法。即使在存在基板的挠曲的情况下，也防止由接触引起的基板的破损。实施方式的搬运系统具有机器人和控制器。控制器对机器人的动作进行控制。机器人具有手和升降机构。手搬运基板。升降机构使手升降。手具有能够检测与基板的下表面的距离的传感器。控制器具有存储部、检测部以及计算部。存储部存储包含基板的载置位置处的载置高度的载置信息。检测部在使手从载置高度下降时，检测基板与手分离的分离高度。计算部基于载置高度与分离高度的差来计算基板的挠曲量。

主权项：1.一种搬运系统，其特征在于，该搬运系统具有：机器人；以及控制器，其对所述机器人的动作进行控制，所述机器人具有：手，其搬运基板；以及升降机构，其使所述手升降，所述手具有能够检测与所述基板的下表面的距离的传感器，所述控制器具有：存储部，其存储包含所述基板的载置位置处的载置高度的载置信息；检测部，其在使所述手从所述载置高度下降时，检测该基板与所述手分离的分离高度；以及计算部，其基于该载置高度与该分离高度的差来计算该基板的挠曲量。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 株式会社安川电机 搬运系统以及搬运方法

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