申请/专利权人：东京毅力科创株式会社

申请日：2023-09-18

公开（公告）日：2024-04-02

公开（公告）号：CN117810141A

主分类号：H01L21/677

分类号：H01L21/677;H01L21/67;B65G54/02

优先权：["20220930 JP 2022-157386"]

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.19#实质审查的生效;2024.04.02#公开

摘要：本发明涉及基板输送模块和基板输送方法。抑制供利用磁悬浮在输送空间移动的基板的输送体移动的输送空间受到来自外侧的非输送空间的影响。一种基板输送模块，其具备输送空间，在输送空间中，具备磁体的输送体利用磁力在从地板悬浮的状态下横向移动而对基板进行输送，基板输送模块具备：孔形成构件，其具备在纵向上形成的贯通孔；划分构件，其在纵向上相对于贯通孔的孔缘部重叠而封堵贯通孔，从而构成地板，划分构件用于形成输送空间，输送空间的气氛相对于处于输送空间的外侧的非输送空间分离；及电磁体，其在非输送空间在与贯通孔重叠的位置设有多个，并从在非输送空间设置的供电部经由供电路径被单独地供电，以使输送体横向移动。

主权项：1.一种基板输送模块，其具备输送空间，在该输送空间中，具备磁体的输送体利用磁力在从地板悬浮的状态下横向移动而对基板进行输送，其中，该基板输送模块具备：孔形成构件，其具备在纵向上形成的贯通孔；划分构件，其在纵向上相对于所述贯通孔的孔缘部重叠而封堵该贯通孔，从而构成所述地板，该划分构件用于形成所述输送空间，该输送空间的气氛相对于处于所述输送空间的外侧的非输送空间分离；以及电磁体，其在所述非输送空间在与所述贯通孔重叠的位置设有多个，并从在该非输送空间设置的供电部经由供电路径被单独地供电，以使所述输送体横向移动。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 东京毅力科创株式会社 基板输送模块和基板输送方法

免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。

阅读全文 双屏查看 官方信息 专利公告 收藏专利 下载PDF 下载WORD