申请/专利权人：迩阁量子科技(上海)有限公司

申请日：2023-06-13

公开（公告）日：2024-04-02

公开（公告）号：CN117805443A

主分类号：G01Q60/40

分类号：G01Q60/40

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.19#实质审查的生效;2024.04.02#公开

摘要：本发明提供了一种原子力探针的制备方法，属于微纳加工与精密测量技术领域。本发明方法包括：通过转移而非生长的方式，将微米或者纳米尺度的针尖材料与悬臂材料集成，其中针尖材料的表面或者亚表面存在有纳米图形结构的掩膜层；利用刻蚀方法进行图案转移，将针尖材料加工出针尖结构。本发明方法极大程度上节约了材料成本，可以在晶圆尺度并行加工，通过具备规模化制造能力的图形化与蚀刻工艺，加工出探针的针尖，适合工业化批量生产，且产品的一致性能够得到保证，实现了具有特殊材料针尖的原子力探针的低成本、高效率的制造。

主权项：1.一种原子力探针的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：步骤一：通过转移方式将微米或者纳米尺度的针尖材料与悬臂材料集成；所述针尖材料的表面或者亚表面存在有纳米尺度图案的掩膜层；所述针尖材料的面积小于悬臂结构的面积；步骤二：利用物理或和化学的刻蚀方法进行图形转移，使所述纳米尺度图案转移到针尖材料，将针尖材料加工出针尖结构；如果在刻蚀后，掩膜层没有被完全去除，增加一个清洗步骤去除掩膜层材料。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 迩阁量子科技(上海)有限公司 一种原子力探针的制备方法

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