申请/专利权人：卡尔蔡司SMT有限责任公司

申请日：2019-04-08

公开（公告）日：2024-04-02

公开（公告）号：CN111919124B

主分类号：G01R1/07

分类号：G01R1/07

优先权：["20180409 DE 102018108283.5"]

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.02#授权;2020.11.27#实质审查的生效;2020.11.10#公开

摘要：本发明基于实现光子集成电路901的简单且可靠的接触的目的。这通过使用可提供探针卡功能的光电电路板300成为可能。该光电电路板300包含至少一个导电体线路381、385、386、387和至少一个光束路径371。

主权项：1.一种系统90，包含：-光电电路板300，其配置成用于接触光子集成电路901，-光学测试装置801，其具有光源802和扫描装置803，其中该光学测试装置801配置成驱动该光源802和该扫描装置803，以发射光束871、811A到该光电电路板300，其中，该光电电路板300包含：-至少一个导电体线路381、385、386、387，其延伸于该光电电路板300的前侧398与该光电电路板300的后侧399之间，该光电电路板300配置成接触该光子集成电路901的电接口972、931，该电接口972、931定位为邻近该后侧399，以及-至少一个光束路径371，其延伸于该光电电路板300的前侧398与该光电电路板300的后侧399之间，该光电电路板300配置成接触该光子集成电路901的光学接口971、921、922，该光学接口971、921、922定位为邻近该后侧399，以及其中，所述扫描装置发射所述光束且相对于该光电电路板的前侧上的多个光学耦合点的可变地定位所述光束。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 卡尔蔡司SMT有限责任公司 接触光子集成电路的光电电路板及方法

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