申请/专利权人：上海超硅半导体股份有限公司;重庆超硅半导体有限公司

申请日：2023-05-19

公开（公告）日：2024-04-02

公开（公告）号：CN220701131U

主分类号：B62B3/04

分类号：B62B3/04;B62B5/00;B62B5/04

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.02#授权

摘要：本申请涉及半导体晶片制造领域，公开了一种用于晶棒储存转运的多功能晶棒收容转运货架，包括车架，固定底托，活动底托，无动力滚筒，刹车装置，带刹车车轮，限位装置，双重防滑装置。本申请的装置可以实现晶棒的存储和转运，能满足各种类型、各规格定长棒、非定长棒和拼接棒转运需求，有利于在转运过程中减少了晶棒磕碰、划伤，保证了转运过程中单晶硅棒品质，降低了劳动强度提高安全系数。附图说明哪里我加上了，直接传PDF就好。

主权项：1.一种多功能晶棒收容转运货架，其特征在于：包括车架，所述车架具有上下两层结构，安装在所述车架上层的两个固定底托，安装在所述车架下层的无动力滚筒，放置在所述下层无动力滚筒上的活动底托，在所述车架下层安装的限位装置，在所述车架下层安装的防滑装置，车架底部设置的地刹装置，在所述车架底端设置的四个车轮，车架顶部两端设有手推装置。

全文数据：

权利要求：

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