申请/专利权人：北京细胞膜科技有限公司

申请日：2023-08-17

公开（公告）日：2024-04-02

公开（公告）号：CN220709182U

主分类号：G01P15/08

分类号：G01P15/08;G01P15/125

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.02#授权

摘要：本实用新型提供一种加速度传感器敏感组件及加速度传感器芯片结构，其中，加速度传感器敏感组件，包括：基板、弹性梁和电热驱动梁，弹性梁安装于基板且固接有框架，框架设有第一梳齿部，第一梳齿部包括多个间隔设置的第一子梳齿，任意相邻的第一子梳齿之间形成梳齿槽；电热驱动梁，安装于基板且位于框架内，电热驱动梁固接有支架，支架设有第二梳齿部，第二梳齿部包括多个间隔设置的第二子梳齿，第二子梳齿分别位于梳齿槽中。本实用新型提供的加速度敏感组件，实现梳齿间隙的改变，使得梳齿间隙缩小至数百纳米甚至数十纳米，提高了加速度传感器的灵敏度；可以实现对加速度传感器敏感组件的零偏的校准；此外，结构设计紧凑，成本低。

主权项：1.一种加速度传感器敏感组件，其特征在于，包括：基板100；弹性梁110，安装于所述基板100且固接有框架120，所述框架120设有第一梳齿部130，所述第一梳齿部130包括多个间隔设置的第一子梳齿131，任意相邻的所述第一子梳齿131之间形成梳齿槽132；电热驱动梁140，安装于所述基板100且位于所述框架120内，所述电热驱动梁140固接有支架150，所述支架150设有第二梳齿部160，所述第二梳齿部160包括多个间隔设置的第二子梳齿161，所述第二子梳齿161分别位于所述梳齿槽132中。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 北京细胞膜科技有限公司 一种加速度传感器敏感组件及加速度传感器芯片结构

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